长鑫存储技术有限公司姜智荣获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利自动检测来料晶圆的检测方法和检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092961B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111312320.7，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权自动检测来料晶圆的检测方法和检测系统是由姜智荣;张家源设计研发完成，并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动检测来料晶圆的检测方法和检测系统在说明书摘要公布了：本申请实施例涉及一种自动检测来料晶圆的检测方法和检测系统。该检测方法，包括：将任一来料批次晶圆作为待检测批次晶圆，待检测批次晶圆具有对应的批次编号；将待检测批次晶圆放入晶片传送盒，并获取晶片传送盒的片盒编号；根据片盒编号、批次编号及制程菜单生成相应的第一测试指令；其中，制程菜单与批次编号对应；在满足预设条件时，根据片盒编号将待检测批次晶圆传送至目标检测位置；根据第一测试指令对待检测批次晶圆进行测试，以判定待检测批次晶圆的品质。降低了人工检测导致的人员误作业的风险，提高了检测人员的检测效率，节约了检验的人力成本，提高了生产晶圆的品质。
本发明授权自动检测来料晶圆的检测方法和检测系统在权利要求书中公布了：1.一种自动检测来料晶圆的检测方法，其特征在于，包括： 将任一来料批次晶圆作为待检测批次晶圆，所述待检测批次晶圆具有对应的批次编号； 将所述待检测批次晶圆放入晶片传送盒，并获取所述晶片传送盒的片盒编号； 根据所述片盒编号、所述批次编号及制程菜单生成相应的第一测试指令；其中，所述制程菜单与所述批次编号对应； 在满足预设条件时，根据所述片盒编号将所述待检测批次晶圆传送至目标检测位置； 根据所述第一测试指令对所述待检测批次晶圆进行测试，以判定所述待检测批次晶圆的品质； 所述第一测试指令包括颗粒测试指令；所述根据所述第一测试指令对所述待检测批次晶圆进行测试，以判定所述待检测批次晶圆的品质，包括： 根据所述颗粒测试指令对所述待检测批次晶圆进行颗粒测试； 根据所述待检测批次晶圆的颗粒测试数据与预设颗粒数据判定所述待检测批次晶圆的品质。
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