中微半导体设备(上海)股份有限公司叶如彬获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利安装底座、喷淋头组件、控温方法及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116130325B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111341250.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权安装底座、喷淋头组件、控温方法及等离子体处理装置是由叶如彬;吴昊设计研发完成，并于2021-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本安装底座、喷淋头组件、控温方法及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种安装底座、喷淋头组件、控温方法及等离子体处理装置。所述安装底座应用于一喷淋头组件，所述喷淋头组件还包括加热器和喷淋头，所述加热器用于对所述喷淋头进行加热，所述安装底座设有流通冷却液的冷却通道，用于对所述喷淋头进行降温，其特征在于，所述安装底座还包括：控温通道，设置于所述冷却通道与所述喷淋头之间的冷却路径上，用于调节所述喷淋头的降温效率。本发明能够实现在高偏置功率时提高冷却效率、低偏置功率时降低冷却效率，改善喷淋头温度可控性、降低加热器功率输出及延长加热器的使用寿命。
本发明授权安装底座、喷淋头组件、控温方法及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种安装底座，应用于一喷淋头组件，所述喷淋头组件还包括加热器和喷淋头，所述加热器用于对所述喷淋头进行加热，所述安装底座设有流通冷却液的冷却通道，用于对所述喷淋头进行冷却，其特征在于，所述安装底座还包括：控温通道，设置于所述冷却通道与所述喷淋头之间的冷却路径上，用于调节所述安装底座对所述喷淋头的冷却效率，在所述控温通道中通入循环冷却液，提高所述安装底座对所述喷淋头的冷却效率，在所述控温通道中通入吹扫气体并维持不流动状态，或在所述控温通道中维持真空状态，降低所述安装底座对所述喷淋头的冷却效率。
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