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龙图腾网获悉深圳市汇投智控科技有限公司申请的专利加热组件的制备方法及气体传感器的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116148319B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310150049.4，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权加热组件的制备方法及气体传感器的制备方法是由周正;倪梁;卢惠棉;杨力建设计研发完成，并于2023-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本加热组件的制备方法及气体传感器的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种加热组件的制备方法及气体传感器的制备方法。加热组件的制备方法包括：提供基底；于基底的上表层形成导电层；于导电层的上表层、导电层的侧壁以及基底的上表层形成第一绝缘层；于第一绝缘层的侧壁形成侧墙结构，其中，第一绝缘层的侧壁与导电层的侧壁相对应；于第一绝缘层的上表层形成第一加热电极以及第二加热电极；其中，第一加热电极与第二加热电极分别与侧墙结构的端部对应接触设置。采用本发明的加热组件的制备方法能够节约器件设计面积。

本发明授权加热组件的制备方法及气体传感器的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种加热组件的制备方法，其特征在于，包括： 提供基底； 于所述基底的上表层形成导电层；其中，于所述基底的上表层形成第一梳齿结构以及第二梳齿结构，所述第一梳齿结构与所述第二梳齿结构共同构成所述导电层，其中，所述第一梳齿结构的梳齿部分与所述第二梳齿结构的梳齿部分呈交错排列；所述第一梳齿结构还包括第一梳齿电极，所述第一梳齿电极与所述第一梳齿结构的梳齿部分的第一端部连接，所述第二梳齿结构还包括第二梳齿电极，所述第二梳齿电极与所述第二梳齿结构的梳齿部分的第一端部连接； 于所述导电层的上表层、所述导电层的侧壁以及所述基底的上表层形成第一绝缘层； 于所述第一绝缘层的侧壁形成侧墙结构，其中，于所述第一绝缘层的表面形成初始侧墙结构；采用自对准侧墙工艺去除部分的初始侧墙结构，以形成所述侧墙结构；所述侧墙结构包括去除部分的初始侧墙结构后，保留在所述第一绝缘层的侧壁的部分所述初始侧墙结构；若刻蚀时间变长，则侧墙结构四分之一圆形的直径减小，若刻蚀时间变短，则侧墙结构四分之一圆形的直径增大；其中，所述第一绝缘层的侧壁与所述导电层的侧壁相对应； 于所述第一绝缘层的上表层形成第一加热电极以及第二加热电极；其中，所述第一加热电极与所述第二加热电极分别与所述侧墙结构的端部对应接触设置。

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