弘塑科技股份有限公司黄立佐获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利搅碎机、晶圆震荡装置和晶圆清洗系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116206999B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111440234.4，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权搅碎机、晶圆震荡装置和晶圆清洗系统是由黄立佐;吴进原;张修凯设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本搅碎机、晶圆震荡装置和晶圆清洗系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种搅碎机、晶圆震荡装置和晶圆清洗系统。搅碎机包含框架、晶舟和处理装置。所述晶舟设置在所述框架上，配置为承载晶圆。所述处理装置设置在所述框架上且位于所述框架和所述晶舟之间。所述处理装置与所述晶舟分隔设置。所述处理装置面对所述晶舟的开口使得从所述晶圆分离的异物由所述晶舟的开口进入所述处理装置。所述处理装置配置为将所述异物搅碎，使得前往下游管路的颗粒不会阻塞管路，以确保管路系统的顺畅。
本发明授权搅碎机、晶圆震荡装置和晶圆清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种搅碎机，其特征在于，所述搅碎机包含： 框架； 晶舟，设置在所述框架上，配置为承载晶圆，其中所述晶舟包含容置腔、第一开口和第二开口，所述容置腔配置为容置所述晶圆，所述第一开口作为提供所述晶圆进入或离开所述晶舟的通道，以及所述第二开口相对于所述第一开口，并且所述第二开口作为排出所述容置腔内的从所述晶圆分离的异物的通道；以及 处理装置，设置在所述框架上且位于所述框架和所述晶舟之间，其中所述处理装置与所述晶舟分隔设置，以及所述处理装置面对所述晶舟的所述第二开口使得所述异物由所述晶舟的所述第二开口进入所述处理装置，并且所述处理装置配置为将所述异物搅碎。
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