瑞声声学科技(深圳)有限公司阿里·泰默获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利一种MEMS光学麦克风获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116264660B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211383634.0,技术领域涉及:H04R19/04;该发明授权一种MEMS光学麦克风是由阿里·泰默设计研发完成,并于2022-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS光学麦克风在说明书摘要公布了:本发明公开了一种MEMS光学麦克风,包括:壳体,壳体具有内腔以及将内腔与外界导通的进声口;振膜,振膜悬置于内腔,并封闭进声口;波导片,波导片上贯穿有通孔,波导片于通孔的相对两侧设有输入波导以及输出波导;可变光波件,可变光波件的第二端延伸进通孔内,随着振膜的振动变形,可变光波件可沿第一方向往复移动;光电模块,包括电磁辐射源以及感测件,可变光波件用于将第一光路的输入偏振态转换为输出偏振态,输出偏振态随着可变光波件的沿第一方向的移动距离改变而呈现不同的形态;集成电路模块,与振膜以及光电模块电连接。与现有技术相比,本发明具有灵敏度高、频率响应平坦等优点,为进一步提高器件性能提供了潜力。
本发明授权一种MEMS光学麦克风在权利要求书中公布了:1.一种MEMS光学麦克风,其特征在于,包括: 壳体,所述壳体具有内腔以及将所述内腔与外界导通的进声口; 振膜,所述振膜悬置于所述内腔,并封闭所述进声口; 波导片,所述波导片悬置于所述内腔,并位于所述振膜的被离所述进声口的一侧,所述波导片上贯穿有通孔,所述波导片于所述通孔的相对两侧设有输入波导以及输出波导; 可变光波件,设于所述振膜以及所述波导片之间,所述可变光波件的第一端连接于所述振膜的背离所述进声口的表面,所述可变光波件的第二端延伸进所述通孔内,随着所述振膜的振动变形,所述可变光波件可沿第一方向往复移动; 光电模块,包括电磁辐射源以及感测件,所述电磁辐射源以及所述感测件分别设于所述波导片的相对两侧,所述电磁辐射源发出的第一光路耦合入所述波导片内,所述第一光路依次经由所述输入波导、所述可变光波件以及所述输出波导后进入所述感测件,所述可变光波件用于将所述第一光路的输入偏振态转换为输出偏振态,所述输出偏振态随着所述可变光波件的沿所述第一方向的移动距离改变而呈现不同的状态; 集成电路模块,与所述振膜以及所述光电模块电连接; 所述可变光波件包括在不同方向上具有不同折射率的双折射晶体。
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