中国科学院长春光学精密机械与物理研究所晏春回获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种超高频振动测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116295786B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310296203.9,技术领域涉及:G01H9/00;该发明授权一种超高频振动测量装置是由晏春回;姚东;孟令通;王含宇;蒋春明;梁瀚钢设计研发完成,并于2023-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高频振动测量装置在说明书摘要公布了:一种超高频振动测量装置涉及激光相干探测技术领域,解决了易造成微纳器件表面损坏、测量频率低问题,该装置包括主从激光器,第一光纤耦合器用于将主激光器发射的激光耦入光纤并分为本振光和信号光,信号光和从激光器发射的激光共同作为光学锁相环系统的输入,光学锁相环系统、第一光纤准直器、偏振棱镜、收发一体镜头和振动目标顺次设置,振动目标的回波信号与本振光共同经第二光纤耦合器传输至平衡光电探测器;平衡光电探测器用于将回波信号和本振光混频形成光电流信号;数字信号处理系统用于根据光电流信号和解相位算法计算目标振动信息。本发明可以生成MHz到GHz超高频动态载波信号,还能够实时测量目标的振动特性,且测量频率能达到GHz。
本发明授权一种超高频振动测量装置在权利要求书中公布了:1.一种超高频振动测量装置,其特征在于,包括主激光器1、从激光器2,第一光纤耦合器3、光学锁相环系统4、第一光纤准直器5、偏振棱镜7、第二光纤准直器8、收发一体镜头10、第二光纤耦合器12、平衡光电探测器13和连接平衡光电探测器13的数字信号处理系统14,所述第一光纤耦合器3用于将主激光器1发射的激光耦入光纤并分为本振光和信号光,信号光和从激光器2发射的激光共同作为光学锁相环系统4的输入,光学锁相环系统4输出的载波信号能够顺次经进入到第一光纤准直器5准直、偏振棱镜7透射、收发一体镜头10传输后照射到振动目标11上得到回波信号,所述回波信号能够顺次经收发一体镜头10传输、偏振棱镜7反射、第二光纤准直器8耦合后,与本振光共同经第二光纤耦合器12传输至平衡光电探测器13;所述平衡光电探测器用于将回波信号和本振光混频形成光电流信号;所述数字信号处理系统14用于根据光电流信号和解相位算法计算目标振动信息。
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