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丹阳市宝来利真空机电有限公司谢学东获国家专利权

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龙图腾网获悉丹阳市宝来利真空机电有限公司申请的专利一种磁控溅射真空镀膜机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116426890B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310392145.X,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种磁控溅射真空镀膜机是由谢学东;谢辉东设计研发完成,并于2023-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种磁控溅射真空镀膜机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种磁控溅射真空镀膜机,属于真空镀膜机技术领域。本发明包括机体,铰接在机体正面的柜门,所述机体顶部的左侧与右侧均固定连接有连接块,所述连接块的正面通过销轴活动连接有密封板,所述密封板的内侧与柜门的表面接触,所述密封板的顶部固定连接有延伸板,所述机体的顶部固定连接有活动块,活动块的表面通过销轴活动连接有摆杆,摆杆的外侧与延伸板的表面接触,机体的顶部固定连接有支架,支架的顶部固定连接有电动伸缩杆,电动伸缩杆的输出端贯穿至支架的底部并固定连接有传动块。本发明能够改进现有真空镀膜机与柜门的连接方式,辅助通过铰接的方式进行闭合,防止柜门和真空镀膜机之间容易出现缝隙,提高气压抽取效果。本发明磁控溅射真空镀膜机实现整个镀膜过程自动化控制,通过数据反馈采集,调整控制数据,以及产品工艺的调整尽可能减少镀膜过程的人为干预,从而提高镀膜产品质量的稳定性,更高的自动化程度也减轻了对镀膜操作人员的操作需求,更加效率的完成镀膜过程。

本发明授权一种磁控溅射真空镀膜机在权利要求书中公布了:1.一种磁控溅射真空镀膜机,包括机体1; 铰接在机体1正面的柜门2;机体1包括镀膜机室,以及固定连接在镀膜机箱底部的底座,还有铰链方式连接在镀膜机室侧的室门,镀膜机室的右侧位置固定连接有闭门器,闭门器用于闭合室门,所述磁控溅射真空镀膜机还包括: 靶材溅射机构,用于镀膜靶材的溅射,所述靶材溅射机构包括若干磁控靶,磁控靶包括由真空镀膜机顶部安装延伸到镀膜机室及室门内部的旋转阴极和靶材;磁控靶设置为若干组,所述镀膜机室中心设置两组磁控靶,所述镀膜机室内部侧边对称设置两组磁控靶,所述柜门内侧设置一组磁控靶;以及物件装持机构,设在镀膜机箱底部,用于镀膜物件的装持,所述物件装持机构包括转动连接在镀膜机箱底部的工件底架,工件底架的转动部位设有传动组件,用于控制工件底架转动,所述工件底架的顶部外缘边设置若干镜片转架,镜片转架设有自转组件,用于控制镜片转架绕自身轴线转动;以及 真空抽取机构,连通设在镀膜机远离室门的一侧,用于对镀膜机内部进行抽真空处理; 其特征在于:所述机体1顶部的左侧与右侧均固定连接有连接块3,所述连接块3的正面通过销轴活动连接有密封板4,所述密封板4的内侧与柜门2的表面接触,所述密封板4的顶部固定连接有延伸板5,所述机体1的顶部固定连接有活动块6,所述活动块6的表面通过销轴活动连接有摆杆7,所述摆杆7的外侧与延伸板5的表面接触,所述机体1的顶部固定连接有支架8,所述支架8的顶部固定连接有电动伸缩杆9,所述电动伸缩杆9的输出端贯穿至支架8的底部并固定连接有传动块10,所述传动块10的正面固定连接有位于摆杆7内部的滑杆11,所述滑杆11与摆杆7滑动连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人丹阳市宝来利真空机电有限公司,其通讯地址为:212300 江苏省镇江市丹阳市开发区九曲路巷工业园;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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