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龙图腾网获悉中芯智达半导体科技(上海)有限公司申请的专利大角度运动末端执行机构及无死角晶圆机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116476106B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310491328.7，技术领域涉及：B25J15/00；该发明授权大角度运动末端执行机构及无死角晶圆机器人是由郭景华;刘军峰设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本大角度运动末端执行机构及无死角晶圆机器人在说明书摘要公布了：本发明提供一种大角度运动末端执行机构，包括：第一末端执行器以及第二末端执行器；第一传动组件以及第二传动组件，第一传动组件包括第一空心转轴，第二传动组件包括第二空心转轴，第二空心转轴套设于第一空心转轴上，第一末端执行器以及第二末端执行器分别与第一空心转轴以及第二空心转轴相连；第一限位结构，第一限位结构包括开设于第一末端执行器及第二末端执行器上的第一弧形限位槽以及第二弧形限位槽，及两端分别活动设置于第一弧形限位槽以及第二弧形限位槽的活动销；本发明解决了现有技术中的末端执行机构无法提供越来越复杂的半导体制程所需的大角度执行手腕转动功能，进而影响生产效率的问题。

本发明授权大角度运动末端执行机构及无死角晶圆机器人在权利要求书中公布了：1.一种大角度运动末端执行机构，其特征在于，包括： 第一末端执行器42以及第二末端执行器46； 第一传动组件43以及第二传动组件47，所述第一传动组件43包括第一空心转轴431，所述第二传动组件47包括第二空心转轴471，所述第二空心转轴471套设于所述第一空心转轴431上，所述第一末端执行器42以及第二末端执行器46分别与所述第一空心转轴431以及第二空心转轴471相连，所述第一空心转轴431以及第二空心转轴471分别带动所述第一末端执行器42以及第二末端执行器46围绕轴心转动，且所述第一末端执行器42设置于所述第二末端执行器46的上方； 第一限位结构，所述第一限位结构包括开设于所述第一末端执行器42底部以及第二末端执行器46的顶部的第一弧形限位槽421a以及第二弧形限位槽441a，及两端分别活动设置于所述第一弧形限位槽421a以及第二弧形限位槽441a的活动销49，通过控制所述活动销49分别在所述第一弧形限位槽421a以及第二弧形限位槽441a内滑动以实现所述第一末端执行器42以及第二末端执行器46间的相对旋转；第一弧形限位槽421a对应的弧形角度为2α，当活动销49在第一弧形限位槽421a运动时，所述第二末端执行器46对应能够实现的旋转角度为±α；若第二弧形限位槽441a对应的弧形角度为2β，当活动销49在第二弧形限位槽441a运动时，所述第二末端执行器46对应能够实现的旋转角度为±β，也即当活动销49在第一弧形限位槽421a以及第二弧形限位槽441a中同时运动时，所述第一末端执行器42以及第二末端执行器46间相对的旋转角度为±α+β。

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