罗伯特·博世有限公司F·赫尔佐克获国家专利权
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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利微机械构件、声换能器设备和用于制造微机械构件的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116507580B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180063133.1,技术领域涉及:B81B7/00;该发明授权微机械构件、声换能器设备和用于制造微机械构件的方法是由F·赫尔佐克;J·赖因穆特设计研发完成,并于2021-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机械构件、声换能器设备和用于制造微机械构件的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于声换能器设备的微机械构件。微机械构件包括衬底、膜片、至少一个压电元件和至少一个电接通连接。膜片以可振动的方式构型并与衬底连接。至少一个压电元件布置在膜片与衬底之间并与膜片连接。至少一个压电元件构造用于产生和或探测膜片的在超声波范围中的振动。至少一个电接通连接与至少一个压电元件电连接。微机械构件能够以倒装芯片技术与操控电路如此连接,使得至少一个压电元件能够通过至少一个电接通连接与操控电路电连接。
本发明授权微机械构件、声换能器设备和用于制造微机械构件的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于声换能器设备200;300的微机械构件100,所述微机械构件具有:衬底20;与所述衬底20连接的可振动的膜片45;至少一个压电元件47,所述至少一个压电元件布置在所述膜片45与所述衬底20之间并与所述膜片45连接,其中,所述至少一个压电元件47构造用于产生和或探测所述膜片45的在超声波范围中的振动;至少一个电接通连接23,25,30,49,55,所述至少一个电接通连接与所述至少一个压电元件47电连接;其中,所述微机械构件100能够以倒装芯片技术与操控电路12如此连接,使得所述至少一个压电元件47能够通过所述至少一个电接通连接23,25,30,49,55与所述操控电路12电连接,其特征在于,所述衬底20借助键合连接21,25通过键合区域与所述膜片45和或所述至少一个压电元件47连接,其中,在所述衬底20中围绕至少一个键合连接21,25构造有环绕的绝缘沟槽50。
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