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龙图腾网获悉弗萨姆材料美国有限责任公司申请的专利用于多个罐的供应控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116507848B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180073776.4，技术领域涉及：F17C7/00；该发明授权用于多个罐的供应控制系统是由T·W·皮尔兹;C·L·休斯;J·P·普雷戈;S·S·卡布勒;仁相宰;A·J·史密斯;金志勋;李相近;金容泰;姜泰旭;权虎山;张星业;崔荣秀;黄孝种;俞方渊设计研发完成，并于2021-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于多个罐的供应控制系统在说明书摘要公布了：公开用于半导体制造工艺中使用的罐的供应控制系统。本公开实施方案的罐的供应控制系统包括用于存储用于制造半导体的大量工艺材料的多个罐；配置为与分别偶联于多个罐的分供应管连通并向半导体制造装置供应工艺材料的主供应管；分别包括在分供应管中并且配置为控制从多个罐的每一个排出的工艺材料流速的多个流量控制装置；包括在主供应管中并配置为实时测量从多个罐的每一个供应到半导体制造装置的工艺材料流速和工艺材料供应压力的传感器；与主供应管偶联且配置为补充地排出存储的工艺材料以使得工艺材料稳定地供应到半导体制造装置的后备部分；和配置为以基于由传感器测量的工艺材料流速的信息或工艺材料供应压力的信息来控制多个流量控制装置和后备部分以使得设定的工艺材料流速通过主供应管供应到半导体制造装置的控制器。

本发明授权用于多个罐的供应控制系统在权利要求书中公布了：1.一种用于罐的供应控制系统，其包括： 储存用于制造半导体的大量工艺材料的多个罐； 主供应管，其配置为与分别偶联于所述多个罐的分供应管连通，并向半导体制造装置供应工艺材料； 多个流量控制装置，其分别包括在所述分供应管中，并且配置为控制从所述多个罐中的每一个排出的工艺材料流速； 传感器，其包括在所述主供应管中，并且配置为实时测量从所述多个罐中的每一个供应到所述半导体制造装置的工艺材料流速和工艺材料供应压力； 后备部分，其与所述主供应管偶联，并且配置为补充地排出所存储的工艺材料，使得工艺材料稳定地供应到所述半导体制造装置；以及 控制器，其配置为基于由所述传感器测量的关于所述工艺材料流速的信息或关于所述工艺材料供应压力的信息来控制所述多个流量控制装置和所述后备部分，使得设定的工艺材料流速通过所述主供应管被供应到所述半导体制造装置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人弗萨姆材料美国有限责任公司，其通讯地址为：美国亚利桑那州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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