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龙图腾网获悉江苏长光时空光电技术有限公司申请的专利一种面发射激光半导体列阵芯片及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116526301B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310521241.X，技术领域涉及：H01S5/42；该发明授权一种面发射激光半导体列阵芯片及其制作方法是由张星设计研发完成，并于2023-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种面发射激光半导体列阵芯片及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及激光半导体领域，尤其涉及一种面发射激光半导体列阵芯片及其制作方法。面发射激光半导体列阵芯片包括衬底组件、第一反射镜组件、有源区组件、阶梯组件和第二反射镜组件，所述第一反射镜组件设置在所述第衬底组件的上表面，所述有源区组件设置在第一反射镜组件的上表面，所述阶梯组件设置在所述有源区组件的上表面，所述阶梯组件的每级台阶上均设置有第二反射镜组件，台阶组件的每级台阶上设置有发光单元，所述发光单元嵌入第二反射镜组件中。本发明通过设计不同的列阵芯片的图形和波长组合，每一批次的列阵芯片均有自己独特的ID，采用本发明作为激光雷达的信号发射光源，可以有效解决不同雷达间的信号相互影响问题。

本发明授权一种面发射激光半导体列阵芯片及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种面发射激光半导体列阵芯片，其特征在于，包括衬底组件、第一反射镜组件102、有源区组件、阶梯组件和第二反射镜组件108，所述第一反射镜组件102设置在所述衬底组件的上表面，所述有源区组件设置在第一反射镜组件102的上表面，所述阶梯组件设置在所述有源区组件的上表面，所述阶梯组件的每级台阶上均设置有第二反射镜组件108，所述阶梯组件的每级台阶上设置有发光单元110，所述发光单元110嵌入第二反射镜组件108中； 所述阶梯组件包括氧化层106和台阶层107，所述台阶层107设置在氧化层106的表面，所述台阶层107包含多级不同高度的台阶； 所述发光单元110包括环形槽206、第二电极层203和绝缘层202，所述环形槽206嵌入第二反射镜组件108、氧化层106和台阶层107，所述环形槽206与包围的氧化层106形成氧化孔径205，所述氧化层106设置在所述环形槽206的表面和第二反射镜组件108的上表面，所述第二电极层203设置在氧化层106表面，位于所述第二反射镜组件108上表面的所述第二电极层203和氧化层106上开设有通光孔204。

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