上海科技大学刘松获国家专利权
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龙图腾网获悉上海科技大学申请的专利超声换能器阵列及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116532346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310582164.9,技术领域涉及:B06B1/06;该发明授权超声换能器阵列及其制备方法是由刘松设计研发完成,并于2023-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本超声换能器阵列及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种超声换能器阵列及其制备方法,该制备方法包括,提供一压电片,所述压电片具有相对设备的第一表面和第二表面,所述第一表面上形成有第一电极层,所述第二表面上形成有第二电极层;对所述第一电极层进行刻蚀,以形成多个独立电极单元,多个所述电极单元以阵列方式间隔排布;于所述第二电极层上形成声阻抗匹配层。本申请制备方法,通过微纳加工工艺在整片压电片上形成阵列分布的相互独立的电极单元,以形成可单独控制的超声波阵元阵列,无需对压电片进行切割,不仅简化制作工艺,而且还能实现更高的阵列密度,提高超声换能器阵列的声场空间分辨率,提升高精度声学成像、高分辨率声场控制等应用效果,同时还适合大规模生产。
本发明授权超声换能器阵列及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种超声换能器阵列制备方法,其特征在于,包括: 提供压电片,所述压电片具有相对设备的第一表面和第二表面,所述第一表面上形成有第一电极层,所述第二表面上形成有第二电极层,所述压电片为不切割的整片压电片; 对所述第一电极层进行刻蚀,以形成多个独立电极单元,多个所述电极单元以矩形阵列方式间隔排布,所述电极单元为正方形,相邻两个所述电极单元的间隙介于超声波传播介质中声波波长的14到12,所述压电片的厚度与所述电极单元的边长的比值介于0.8-1.2之间,所述压电片的厚度介于0.8mm-1.2mm; 于所述第二电极层上形成声阻抗匹配层; 其中,所述超声换能器阵列用于声镊器件。
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