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龙图腾网获悉苏州道一至诚纳米材料技术有限公司;无锡日积微机电设备有限公司申请的专利双面往复镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116770258B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310756199.X，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权双面往复镀膜装置是由钱若棨;钱敬吉设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本双面往复镀膜装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种双面往复镀膜装置，包括真空室、发射源系统、至少一套卷绕设备及驱动机构，卷绕设备包括于柔性带材的传送路径上依次设置的第一卷绕滚轴、第一张力弹性滚轴、第一与第二定速传动滚轴、第二张力弹性滚轴及第二卷绕滚轴，第一及第二卷绕滚轴互为收放卷滚轴，并互为主从动力滚轴；第一及第二定速传动滚轴，互为主从定速传动滚轴，第一与第二定速传动滚轴之间的柔性带材的第一表面以及第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面均面向发射源系统。本发明可以解决现有的镀膜装置要实现双面镀膜必须具备至少两个蒸发源组而导致真空室内有效空间利用率低、成本高、效率低、产能小等问题。

本发明授权双面往复镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种双面往复镀膜装置，用以镀膜于柔性带材的相对的第一表面以及第二表面，其特征在于，所述双面往复镀膜装置包括： 真空室； 发射源系统，设置于所述真空室内； 至少一套卷绕设备，设置于所述真空室内并位于所述发射源系统的周围，且每一套卷绕设备包括： 第一卷绕滚轴以及第二卷绕滚轴，所述第一卷绕滚轴与所述第二卷绕滚轴其中之一为收卷滚轴，其中之另一为放卷滚轴，且所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴互为主动力滚轴以及从动力滚轴； 第一张力弹性滚轴以及第二张力弹性滚轴，用以改变所述柔性带材的运动方向以及通过弹性力调整所述柔性带材的张力避免偏移； 至少一个导向滚轴，用以改变所述柔性带材的运动方向； 第一定速传动滚轴以及第二定速传动滚轴，互为主定速传动滚轴以及从定速传动滚轴，用以调整所述柔性带材运动时的线速度恒定；以及 驱动机构，所述驱动机构的输出轴连接所述卷绕设备的动力轴； 其中，所述第一卷绕滚轴、所述第一张力弹性滚轴、所述第一定速传动滚轴、所述第二定速传动滚轴、所述第二张力弹性滚轴以及所述第二卷绕滚轴于所述柔性带材的传送路径上依次设置并通过所述柔性带材连接，所述导向滚轴设置于所述传送路径上；且所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材的第一表面面向所述发射源系统，所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面面向所述发射源系统；且所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材以及所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材均位于所述发射源系统的发射范围内； 所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴均为双向弹性阻尼间滑式滚轴，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴包括第一轴，所述第一轴具有相对的两个第一端面，每一第一端面上均设置有至少一对匚形弹簧弹卡口，且每对匚形弹簧弹卡口以所述第一端面的圆心为中心对称设置；其中，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴对应每一第一端面还包括： 轴头，所述轴头的中间部的直径大于所述轴头两端的尺寸，且所述轴头的一端与所述驱动机构的输出轴连接，所述轴头的另一端与所述第一轴可转动地配合，所述中间部上对应所述匚形弹簧弹卡口设置有匚形弹簧固定部；以及 匚形弹簧，所述匚形弹簧的一端固定于所述匚形弹簧固定部，所述匚形弹簧的另一端与对应的所述匚形弹簧弹卡口卡合； 其中，当第一定速传动滚轴至所述第一卷绕滚轴之间的第一张力大于所述第一卷绕滚轴的最大固定阻尼时，所述匚形弹簧的另一端脱离对应的所述匚形弹簧弹卡口，所述第一轴回转至所述匚形弹簧的另一端与所述第一轴的回转方向上的下一匚形弹簧弹卡口卡合。

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