中微半导体设备(上海)股份有限公司姜勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116949392B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210403734.9，技术领域涉及：C23C14/00；该发明授权一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法是由姜勇;王弦歌;陶珩设计研发完成，并于2022-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法，所述气体混合器用于气体喷淋装置，包括：设置于气体扩散腔上方的混合器本体，混合器本体的内部设置有一容纳腔，容纳腔与第一气体源连接，用于容置从第一气体源供应的至少一种气体；混合器本体的侧壁上围绕容纳腔盘设有螺旋形通道；螺旋形通道的进口与第二气体源连通，螺旋形通道的出口与气体扩散腔连通；螺旋形通道的侧壁上间隔设有若干个第一通孔，用于连通容纳腔和螺旋形通道，以使供应至容纳腔的至少一种气体和供应至螺旋形通道的至少一种气体在螺旋形通道内进行混合。本发明中不同气体在螺旋形通道内进行混合，使得气体混合路径较长，从而保证不同气体的混合均匀性和混合质量。
本发明授权一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法在权利要求书中公布了：1.一种气体混合器，用于气体喷淋装置，所述气体喷淋装置包括气体扩散腔；其特征在于，所述气体混合器包括： 设置于所述气体扩散腔上方的混合器本体，所述混合器本体的内部设置有一容纳腔，所述容纳腔与第一气体源连接，用于容置所述第一气体源供应的至少一种气体；所述容纳腔的底部与所述容纳腔的侧壁气密连接，使得所述容纳腔的底部与所述气体扩散腔不连通； 所述混合器本体的侧壁上围绕所述容纳腔盘设有螺旋形通道；所述螺旋形通道的进口与第二气体源连通，所述螺旋形通道的出口与所述气体扩散腔连通； 所述螺旋形通道的侧壁上间隔设有若干个第一通孔，用于连通所述容纳腔和所述螺旋形通道，以使供应至所述容纳腔的至少一种气体和供应至所述螺旋形通道的至少一种气体在所述螺旋形通道内进行混合。
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