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龙图腾网获悉安徽禾臣新材料有限公司申请的专利掩膜基板涂胶缺陷的修复方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120997090B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511134299.4，技术领域涉及：G06T5/77；该发明授权掩膜基板涂胶缺陷的修复方法是由李加海;高伟东;曹荣府设计研发完成，并于2025-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本掩膜基板涂胶缺陷的修复方法在说明书摘要公布了：本发明公开了掩膜基板涂胶缺陷的修复方法，涉及掩膜基板涂胶修复技术领域，为了解决掩膜基板中涂胶区域缺陷修复效果不佳的问题。本发明利用差异化增强强化缺陷对比度，机器学习模型通过几何、纹理及光学特征精准划分缺陷类型与属性，大幅提升缺陷识别的全面性与准确性，为修复提供可靠依据，采用多波段光源成像与差异化增强融合技术，结合机器学习分类模型，实现缺陷的全面识别与精准分类，建立全流程数据追溯与可视化存储机制，整合缺陷原始数据、修复过程参数及成品信息，规范数据格式并可视化呈现。

本发明授权掩膜基板涂胶缺陷的修复方法在权利要求书中公布了：1.掩膜基板涂胶缺陷的修复方法，其特征在于，包括： 先对掩膜基板进行初步缺陷图像识别；根据识别的缺陷图像进行缺陷类型和属性的分类；根据缺陷类型和属性进行修复条件评估；根据评估结果对待修复的掩膜基板进行修复路径规划；修复路径规划完成后进行修复方案生成；根据修复方案对掩膜基板进行缺陷区域修复；对修复完成的掩膜基板进行清洁处理；清洁处理完成后对掩膜基板进行修复质量检测，并将修复质量检测合格的掩膜基板进行关键参数存储； 对掩膜基板进行初步缺陷图像识别，包括： 掩膜基板的基板材料为石英玻璃基板，利用多波段光源对掩膜基板表面进行照射，多波段光源包括紫外光、可见光和近红外光； 多波段光源对掩膜基板表面进行照射时，利用与多波段光源匹配的成像系统进行同步图像采集； 将同步采集的图像进行图像预处理，图像预处理包括降噪处理和光照校正； 将图像预处理后的采集图像利用差异化增强算法，对图像的缺陷和背景对比度进行确认，其中，差异化增强算法包括紫外图像增强、可见光图像增强和近红外图像增强； 将差异化增强后的图像进行融合，融合后将不同图像中波段的缺陷信息进行整理； 整理完成后得到最终的缺陷图像； 根据识别的缺陷图像进行缺陷类型和属性的分类，包括： 利用阈值分割和形态运算，将缺陷图像中的缺陷区域进行确认，并排除正确背景区域； 对确认的缺陷区域进行连通域分析，并区分重叠或相邻的缺陷，区分完成后对每个连通域的边界进行标记，标记后得到缺陷图像中独立的缺陷目标； 将得到的缺陷目标进行几何参数计算、纹理特征提取和光学特性分析； 几何参数计算包括基础形态参数和位置参数的计算，几何参数计算后得到缺陷目标空间形态的几何特征； 纹理特征提取包括灰度分布特征和空间结构特征，纹理特征提取后得到缺陷目标中缺陷表面的灰度分布规律； 光学特性分析为对缺陷目标中不同光波段下的光学响应特征进行提取； 将几何参数计算、纹理特征提取和光学特性分析的数据，基于机器学习的缺陷分类模型进行模型构建； 根据构建的模型对缺陷目标进行缺陷类型的自动分类，根据缺陷类型进行属性确认，属性包括尺寸属性、位置属性和严重程度； 属性确认完成后得到缺陷图像中缺陷区域的类型和属性数据。

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