江苏永鼎股份有限公司周莉获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利一种VCSEL芯片发光角度的调控方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121307622B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511877977.6,技术领域涉及:H01S5/06;该发明授权一种VCSEL芯片发光角度的调控方法是由周莉;李晶;冯丽彬设计研发完成,并于2025-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种VCSEL芯片发光角度的调控方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种VCSEL芯片发光角度的调控方法,包括:基于目标发散角,确定一个能通过热光效应实现该发散角的标准横向温度分布模板;于其发光单元周围的半导体层内,制备出一种通过其自身的图形与布局来主动调节发光单元周围的横向温度分布情况的集成式散热结构;驱动发光单元工作,将实际横向温度分布与标准横向温度分布模板进行比对;当实际横向温度分布与标准横向温度分布模板的偏差超出容限时,对所述集成式散热结构的图形和布局进行微加工修调,以校正其热流引导功能,使其产生的实际横向温度分布趋近于标准横向温度分布模板。本发明能够通过主动构造并精确校准集成式散热结构所形成的横向温度场,来实现对光束发散角的高效、稳定控制。
本发明授权一种VCSEL芯片发光角度的调控方法在权利要求书中公布了:1.一种VCSEL芯片发光角度的调控方法,其特征在于,包括以下步骤: 基于目标发散角,确定一个能通过热光效应实现该发散角的标准横向温度分布模板; 在VCSEL芯片的制造过程中,于其每个发光单元周围的半导体层内,制备出一种集成式散热结构;所述集成式散热结构被构造为能够通过其自身的图形与布局来主动调节发光单元周围的横向温度分布情况;所述集成式散热结构的图形被设计为环绕发光单元的、具有特定宽度的非闭合环形结构;所述环形结构在垂直于光轴的方向上,为有源区产生的热量提供了高导通的横向逸散通道;通过控制所述环形结构的径向宽度与环间距,在环形区域下方形成局部的低温区,从而在发光单元中心高温区与环形低温区之间,构造出一个特定的径向温度梯度;所述径向温度梯度通过半导体材料的热光效应,转化为一个相应的径向折射率分布,径向折射率分布对传输中的光波前施加一个会聚的相位调制,从而压缩出射光束的发散角; 在完成集成式散热结构的制备后,驱动发光单元工作,并实时监测其产生的实际横向温度分布,将实际横向温度分布与标准横向温度分布模板进行比对; 当实际横向温度分布与标准横向温度分布模板的偏差超出容限时,对所述集成式散热结构的图形和布局进行微加工修调,以校正其热流引导功能,使其产生的实际横向温度分布趋近于标准横向温度分布模板; 采用激光束对集成式散热结构的图形和布局进行微加工修调,包括:根据实际横向温度分布与标准模板的偏差,确定环形散热结构上需要增强或减弱热导率的径向方位;基于径向方位,规划激光束的修调路径,路径位于环形结构上,并平行于环的切线方向;控制激光束沿规划的路径对环形结构进行扫描照射,通过精确控制激光能量,使被照射区域的氮化铝材料发生微晶化或非晶化相变,从而局部且精确地降低该路径区域的热导率,以校正环形结构的整体热流引导能力。
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