买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利一种垂直腔面发射激光器及其氧化孔径控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121307636B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511877071.4，技术领域涉及：H01S5/183；该发明授权一种垂直腔面发射激光器及其氧化孔径控制方法是由周莉;姚子锋;倪春丽设计研发完成，并于2025-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种垂直腔面发射激光器及其氧化孔径控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体光电子器件技术领域，公开一种垂直腔面发射激光器及其氧化孔径控制方法，其中，垂直腔面发射激光器的P型电极上集成有散热结构，有源区的侧壁上设有掩埋异质结结构，氧化限制层的侧壁上设有限制层孔道；氧化孔径控制方法包括：根据制备的激光器的性能测量值与性能目标值的偏差，更新限制层孔道的孔径目标值；根据氧化后限制层孔道的孔径测量值与更新的孔径目标值的偏差，调整后续批次的工艺参数。本发明垂直腔面发射激光器及其氧化孔径控制方法，以产品性能为目标导向，进行工艺参数的优化，将控制目标从中间工艺参数几何孔径提升到产品性能电光特性，以实现器件性能的一致性。

本发明授权一种垂直腔面发射激光器及其氧化孔径控制方法在权利要求书中公布了：1.一种垂直腔面发射激光器的氧化孔径控制方法，其特征在于，包括： 根据制备的激光器的性能测量值与性能目标值的偏差，更新限制层孔道的孔径目标值；所述激光器为垂直腔面发射激光器； 根据氧化后限制层孔道的孔径测量值与更新的孔径目标值的偏差，调整后续批次的工艺参数； 所述垂直腔面发射激光器的P型电极上集成有散热结构，有源区的侧壁上设有掩埋异质结结构，氧化限制层的侧壁上设有限制层孔道； 所述性能测量值包括：电流阈值和或光束发散角； 所述工艺参数包括：氧化时间； 所述根据制备的激光器的性能测量值与性能目标值的偏差，更新限制层孔道的孔径目标值包括： 计算制备的激光器的性能测量值与性能目标值的偏差； 基于性能与孔径的关系，根据制备的激光器的性能测量值与性能目标值的偏差，计算孔径目标值的孔径校准量； 根据所述孔径校准量，更新限制层孔道的孔径目标值； 所述根据氧化后限制层孔道的孔径测量值与更新的孔径目标值的偏差，调整后续批次的工艺参数包括： 在湿法氧化后，通过红外显微镜测量限制层孔道的孔径测量值，并计算孔径测量值与更新的孔径目标值的偏差； 根据孔径测量值和更新的孔径目标值的偏差与氧化速率的比值，确定下一批次的氧化时间调整量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏永鼎股份有限公司，其通讯地址为：215200 江苏省苏州市吴江区汾湖高新区国道路1788号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。