北京和崎精密科技有限公司王振强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种搬运装置控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121310938B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511831905.8,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种搬运装置控制方法是由王振强;戚汉凌;王金池;郑瑜谦设计研发完成,并于2025-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种搬运装置控制方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种搬运装置控制方法,属于半导体技术领域,该方法包括:接收晶圆搬运请求,针对晶圆搬运请求中的每个搬运对象,分配搬运装置以及搬运批次,基于搬运对象的储存位置和目标位置确定搬运装置的移动路径;对于同一搬运批次的搬运装置,基于该搬运批次中各个搬运装置在各自移动路径中到达各个目标节点的时间信息判断该搬运批次中各个搬运装置在搬运过程中是否存在冲突;若存在冲突,调整至少一个搬运装置的移动路径或到达各个目标节点的时间信息,直至不存在冲突,基于调整后的各个搬运装置的移动路径以及到达各个目标节点的时间信息控制各搬运装置执行搬运操作。本申请可以实现对多个搬运装置的搬运路径进行合理规划。
本发明授权一种搬运装置控制方法在权利要求书中公布了:1.一种搬运装置控制方法,其特征在于,包括: 接收晶圆搬运请求,所述晶圆搬运请求中包括搬运对象以及对应的目标位置; 针对每个搬运对象,为其分配搬运装置以及搬运批次,并基于搬运对象的储存位置和目标位置确定搬运装置的移动路径;所述移动路径中包含至少一个目标节点; 针对每个搬运装置,确定该搬运装置在对应移动路径中的运动状态以及到达各个目标节点的时间信息; 对于同一搬运批次的搬运装置,基于该搬运批次中各个搬运装置在各自移动路径中到达各个目标节点的时间信息以及各搬运装置的动态碰撞体模型判断该搬运批次中各个搬运装置在搬运过程中是否存在冲突;其中,所述动态碰撞体模型用于表征搬运装置在不同运动状态下的空间占用范围; 若不存在冲突,基于各个搬运装置对应的移动路径以及到达各个目标节点的时间信息控制各搬运装置沿其移动路径执行搬运操作; 若存在冲突,调整至少一个搬运装置的移动路径或到达各个目标节点的时间信息,直至不存在冲突,基于调整后的各个搬运装置的移动路径以及到达各个目标节点的时间信息控制各搬运装置执行搬运操作; 所述基于该搬运批次中各个搬运装置在各自移动路径中到达各个目标节点的时间信息以及各搬运装置的动态碰撞体模型判断该搬运批次中各个搬运装置在搬运过程中是否存在冲突,包括: 针对搬运批次中的每个搬运装置,基于该搬运装置到达各目标节点的时间信息,生成该搬运装置在搬运过程中的时空轨迹; 对同一搬运批次中的任两个搬运装置,基于该两个搬运装置的时空轨迹确定重叠时间段; 确定该两个搬运装置在所述重叠时间段内的运动阶段,并调用对应的动态碰撞体模型; 基于两个搬运装置对应的动态碰撞体模型判断该搬运批次中各个搬运装置在搬运过程中是否存在冲突; 其中,所述运动阶段包括:取物阶段和运物阶段;所述动态碰撞体模型包括:取物阶段碰撞体模型和运物阶段碰撞体模型;所述取物阶段碰撞体模型用于表征搬运装置本体的空间占用范围;所述运物阶段碰撞体模型用于表征搬运装置与搬运对象的整体空间占用范围。
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