艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司毛昌海获国家专利权
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龙图腾网获悉艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司申请的专利一种钻针涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121320900B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511905121.5,技术领域涉及:C23C16/02;该发明授权一种钻针涂层及其制备方法是由毛昌海;祖全先;帅小锋设计研发完成,并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钻针涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请涉及一种钻针涂层及其制备方法,制备方法中:将含钴碳化钨钻针置于涂层机内,抽真空、升温后经氩离子蚀刻;以脉冲偏压加速低功率溅射的碳化钨粒子,形成碳化钨层;调整偏压与功率,通入含碳气体形成碳化钨掺杂含氢类金刚石过渡层;关闭碳化钨靶材,通过电磁线圈辅助PECVD制备含氢类金刚石层。本申请采用无金属打底层的梯度涂层结构与工艺协同,适配钻针螺旋状凹槽的不平整表面,解决了含氢类金刚石涂层结合强度不足、传统涂层易脱落及总厚度过大的问题,显著提升钻针钻孔寿命、降低断针率,保障加工精度。
本发明授权一种钻针涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种钻针涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: S1、将钻针置于涂层机内腔的载台上,所述钻针的材质为含钴碳化钨,对所述涂层机抽真空至1×10-3Pa~5×10-3Pa,将载台升温至90℃~110℃,采用氩气电离产生的氩离子对钻针表面进行蚀刻; S2、向碳化钨靶材施加0.1~1KW的功率溅射碳化钨粒子,并利用偏压对溅射出的碳化钨粒子加速,所述偏压为脉冲偏压,所述偏压值为600V~1200V,占空比≤80%,在所述钻针表面形成碳化钨层,其厚度为10nm~500nm; S3、将偏压调整为0~100V,向碳化钨靶材施加的功率调整为2~15KW,同时通入含碳气体,气体流量为50sccm~150sccm,在所述碳化钨层上形成碳化钨掺杂的含氢类金刚石过渡层,其厚度为100nm~500nm; S4、关闭碳化钨靶材,将偏压调整为大于100V且≤750V,所述偏压为脉冲偏压,占空比≤80%,气体流量调整为150sccm~300sccm,采用电磁线圈辅助等离子增强化学气相沉积,制备含氢类金刚石层,其厚度为0.1μm~0.5μm。
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