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龙图腾网获悉辽宁嘉顺科技有限公司申请的专利一种氧化镁靶材表面残留物检测方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121324356B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511912665.4，技术领域涉及：G01N21/84；该发明授权一种氧化镁靶材表面残留物检测方法和系统是由王继奇;倪晶;高斌;赵恩猛;许勇;史锐;史轩赫;卞天赐;侯启宇;王佳旭设计研发完成，并于2025-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氧化镁靶材表面残留物检测方法和系统在说明书摘要公布了：本发明涉及氧化镁靶材检测技术领域，具体是一种氧化镁靶材表面残留物检测方法和系统，该方法包括获取待检测氧化镁靶材样品，将样品表面划分为规则的网格区域；获取第一光学图像；将微米级水雾均匀施加于样品表面获取第二光学图像；根据第一光学图像与第二光学图像转化得到水珠分布特征图像；计算水珠分布特征图像中每个网格区域内像素点的灰度值局部方差；当某个网格区域的灰度值局部方差大于洁净表面方差阈值时，则判定该网格区域存在疏水性残留物。本发明通过图像处理得到微米级水雾均匀施加于所述样品表面后样品表面水珠的分布特征，进而依据基于润湿性差异的原理识别氧化镁靶材表面的疏水性有机残留物。

本发明授权一种氧化镁靶材表面残留物检测方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种氧化镁靶材表面残留物检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤： S1，获取待检测氧化镁靶材样品，将样品表面划分为规则的网格区域；采用均匀光源照射样品表面，利用工业相机获取样品表面在干燥状态下的可见光图像，记为第一光学图像； S2，采用超声雾化方式将超纯水转化为微米级水雾，将微米级水雾均匀施加于所述样品表面；在所述均匀光源的照射条件下，获取施加微米级水雾后的样品表面的光学图像，记为第二光学图像； S3，将所述第一光学图像与所述第二光学图像分别转换为第一灰度图像矩阵、第二灰度图像矩阵，根据第一灰度图像矩阵、第二灰度图像矩阵采用图像差分处理方法，得到水珠分布特征图像；根据所述网格区域，计算水珠分布特征图像中每个网格区域内像素点的灰度值局部方差； S4，将所述灰度值局部方差与预设的洁净表面方差阈值进行比较，当某个网格区域的灰度值局部方差大于所述洁净表面方差阈值时，则判定该网格区域存在疏水性残留物； 所述将所述第一光学图像与所述第二光学图像分别转换为第一灰度图像矩阵、第二灰度图像矩阵，根据第一灰度图像矩阵、第二灰度图像矩阵采用图像差分处理方法，得到水珠分布特征图像的方法包括： 采用加权平均法将所述第一光学图像与所述第二光学图像分别转换为第一灰度图像矩阵、第二灰度图像矩阵； 对所述第一灰度图像矩阵与第二灰度图像矩阵进行绝对差分运算，得到初始差分矩阵；所述初始差分矩阵的计算公式为： ； 其中，表示初始差分矩阵，表示第一灰度图像矩阵，表示第二灰度图像矩阵； 采用形态学开运算对所述初始差分矩阵进行处理得到第二差分矩阵；采用圆形度筛选方法从第二差分矩阵中提取得到水珠分布特征图像。

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