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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种基于三频双向超声辅助的半导体化学机械抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121340120B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511894918.X，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种基于三频双向超声辅助的半导体化学机械抛光装置是由啜世达;叶林征;祝锡晶;王润宇;李晓波;吴佳龙设计研发完成，并于2025-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于三频双向超声辅助的半导体化学机械抛光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体化学机械抛光技术领域，具体是一种基于三频双向超声辅助的半导体化学机械抛光装置，其包括转台，转台的台板下表面与转台的外壳上表面之间留有安装间隙，安装间隙内设置有底板和盖板，底板的上表面放置有控制盒、环形穿线管、径向穿线管、轴向穿线管、电磁线圈，转台的台板上表面固定有抛光垫，转台的外壳上安装有电动伸缩柱，电动伸缩柱的伸缩端连接有超声波振子A，超声波振子A的振动端连接有保持筒，保持筒内安装有超声波振子B，超声波振子B的振动端连接有超声波振动片。其解决了现有半导体化学机械抛光技术抛光效率较低、抛光合格率较低、抛光过程稳定性较差、影响半导体材料的性能及可靠性的问题，适用于集成电路领域。

本发明授权一种基于三频双向超声辅助的半导体化学机械抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种基于三频双向超声辅助的半导体化学机械抛光装置，其特征在于：包括转台；转台的台板1朝上，且转台的台板1下表面与转台的外壳2上表面之间留有安装间隙；安装间隙内设置有底板3和盖板4；底板3固定于转台的外壳2上表面，且底板3的中央贯通开设有中心孔A3.1；盖板4固定于底板3的上表面，且盖板4的中央贯通开设有中心孔B4.1；转台的转轴5转动贯穿中心孔A3.1和中心孔B4.1；转台的台板1下表面与盖板4的上表面滑动接触； 底板3的上表面放置有控制盒6、与控制盒6连通的环形穿线管7、与环形穿线管7连通的径向穿线管8、与径向穿线管8连通的轴向穿线管9、位于轴向穿线管9旁侧的电磁线圈10；控制盒6内安装有供电模块；电磁线圈10的两端依次穿过轴向穿线管9、径向穿线管8、环形穿线管7、控制盒6与供电模块连接；盖板4的下表面开设有用于容纳控制盒6的容纳槽A4.2、用于容纳环形穿线管7的容纳槽B4.3、用于容纳径向穿线管8的容纳槽C4.4、用于容纳轴向穿线管9和电磁线圈10的容纳槽D4.5；转台的台板1上表面固定有抛光垫11； 转台的外壳2上安装有伸缩端朝右的电动伸缩柱12；电动伸缩柱12的伸缩端连接有振动端朝右的超声波振子A；超声波振子A的振动端连接有位于抛光垫11上方的保持筒13；保持筒13内安装有振动端朝下的超声波振子B；超声波振子B的振动端连接有超声波振动片14；超声波振子B与保持筒13之间安装有压力传感器15和压电垫圈16； 超声波振子A将超声频交变电流信号转换为横向低频超声振动；超声波振子B将超声频交变电流信号转换为竖向低频超声振动；超声波振动片14将超声频交变电流信号转换为竖向高频超声振动。

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