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龙图腾网获悉杭州光研科技有限公司申请的专利一种晶圆贯穿划痕检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121366158B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511924908.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆贯穿划痕检测方法及系统是由郭晓忠;许袁;陈海龙设计研发完成，并于2025-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆贯穿划痕检测方法及系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆贯穿划痕检测方法及系统，涉及晶圆缺陷检测技术领域。本申请在基于目标晶圆的多个局部表面区域各自的观测图像，提取出各个局部表面区域分别对应的局部贯穿划痕后，会针对每个局部表面区域，检测其涉及的每条局部贯穿划痕的两个划痕端点是否均属于晶圆边缘端点，以便将两个划痕端点均属于晶圆边缘端点的局部贯穿划痕直接作为晶圆贯穿划痕，或者在相邻局部表面区域处检测与该局部贯穿划痕归属于同一划痕缺陷的局部贯穿划痕，而后针对由所有局部表面区域各自的归属于同一划痕缺陷的局部贯穿划痕合并出的候选合并划痕，将两个划痕端点均属于晶圆边缘端点的候选合并划痕作为晶圆贯穿划痕，从而实现晶圆贯穿划痕精准检测功能。

本发明授权一种晶圆贯穿划痕检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆贯穿划痕检测方法，其特征在于，所述方法包括： 获取针对目标晶圆的多个局部表面区域分别拍摄的观测图像，其中所述目标晶圆的被拍摄表面区域可被所述多个局部表面区域拼接覆盖； 根据所述多个局部表面区域各自的观测图像，对所述多个局部表面区域分别进行局部贯穿划痕提取，其中任意一条局部贯穿划痕的两个划痕端点均位于对应局部表面区域的区域边缘轮廓上； 针对每个局部表面区域，检测该局部表面区域提取出的每条局部贯穿划痕的两个划痕端点是否均属于晶圆边缘端点； 若检测到对应局部贯穿划痕的两个划痕端点均属于晶圆边缘端点，则直接将该局部贯穿划痕作为所述目标晶圆的一条晶圆贯穿划痕，否则在相邻局部表面区域处检测与该局部贯穿划痕归属于同一划痕缺陷的局部贯穿划痕； 对所述多个局部表面区域各自的归属于同一划痕缺陷的局部贯穿划痕进行划痕合并处理，并在合并出的候选合并划痕的两个划痕端点均属于晶圆边缘端点时，将该候选合并划痕作为一条晶圆贯穿划痕。

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