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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利源炉硅氧类杂质监测方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121428655B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512032275.4，技术领域涉及：C30B25/16；该发明授权源炉硅氧类杂质监测方法、装置、电子设备及存储介质是由刘静;李现旭设计研发完成，并于2025-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本源炉硅氧类杂质监测方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请属于杂质监测的技术领域，公开了一种源炉硅氧类杂质监测方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：实时获取源炉加热过程中的主源材料的实时主源质谱信号和硅氧类杂质的实时杂质原始质谱信号，根据实时主源质谱信号和实时杂质原始质谱信号，结合源炉在开始加热时的主源材料的初始主源质谱信号和硅氧类杂质的初始杂质质谱信号，计算得到硅氧类杂质的实际杂质信号，基于实时主源质谱信号和实际杂质信号，分别计算主源材料的蒸发速率数据和硅氧类杂质的变化趋势信息，用以确定动态预警阈值，监测实际杂质信号，以当实际杂质信号大于或等于动态预警阈值时，确定硅氧类杂质释放过高；通过上述方法，提高了外延薄膜的生产效率。

本发明授权源炉硅氧类杂质监测方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种源炉硅氧类杂质监测方法，用于对源炉加热过程中的硅氧类杂质进行监测，其特征在于，包括步骤： 实时获取源炉加热过程中的主源材料的实时主源质谱信号和硅氧类杂质的实时杂质原始质谱信号； 根据所述实时主源质谱信号和所述实时杂质原始质谱信号，结合所述源炉在开始加热时的所述主源材料的初始主源质谱信号和所述硅氧类杂质的初始杂质质谱信号，计算得到所述硅氧类杂质的实际杂质信号； 基于所述实时主源质谱信号和所述实际杂质信号，分别计算所述主源材料的蒸发速率数据和所述硅氧类杂质的变化趋势信息，用以确定动态预警阈值； 基于所述实时主源质谱信号和所述实际杂质信号，分别计算所述主源材料的蒸发速率数据和所述硅氧类杂质的变化趋势信息，用以确定动态预警阈值，包括： 根据所述实时主源质谱信号的实时变化速率，计算得到所述主源材料的蒸发速率数据； 根据所述实际杂质信号在每个预设周期内的变化量，计算得到所述硅氧类杂质的变化趋势信息； 基于所述蒸发速率数据和所述变化趋势信息，确定动态预警阈值； 所述动态预警阈值包括变化量动态预警阈值和变化率动态预警阈值； 基于所述蒸发速率数据和所述变化趋势信息，确定动态预警阈值，包括： 基于所述蒸发速率数据和预设的变化量系数阈值，确定得到变化量动态预警阈值； 基于所述变化趋势信息和预设的变化率系数阈值，确定得到变化率动态预警阈值； 监测所述实际杂质信号，以当所述实际杂质信号大于或等于所述动态预警阈值时，确定所述硅氧类杂质释放过高； 监测所述实际杂质信号，以当所述实际杂质信号大于或等于所述动态预警阈值时，确定所述硅氧类杂质释放过高，包括： 基于所述实际杂质信号，分别计算得到所述硅氧类杂质的实时变化量以及所述硅氧类杂质在所述预设周期内的实时变化速率； 分别判断所述实时变化量是否大于或等于所述变化量动态预警阈值以及所述实时变化速率是否大于或等于所述变化率动态预警阈值，以监测所述实际杂质信号； 当所述实时变化量大于或等于所述变化量动态预警阈值，或所述实时变化速率大于或等于所述变化率动态预警阈值时，确定所述硅氧类杂质释放过高，发出预警提示。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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