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龙图腾网获悉东北大学申请的专利基于极坐标变换与生成对抗网络的晶圆缺陷检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121458727B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610019003.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权基于极坐标变换与生成对抗网络的晶圆缺陷检测系统及方法是由许波文;苏涵光;王佳蔚;张天浩;孙佳月;明忠阳;刘鑫蕊;罗艳红;周博文;金硕巍设计研发完成，并于2026-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于极坐标变换与生成对抗网络的晶圆缺陷检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供基于极坐标变换与生成对抗网络的晶圆缺陷检测系统及方法，该系统通过引入极坐标展开、几何位置编码、双判别器结构以及双空间一致性重建损失，使网络能够在保持像素细节的同时准确建模晶圆的圆形几何结构，从而增强缺陷在重建误差中的显著性。本发明将晶圆图像在笛卡尔空间和极坐标空间中同时进行结构约束，提高模型对环形缺陷、边缘缺陷和径向异常的敏感性，解决传统方法在结构一致性、边缘重建和弱缺陷可检测性方面的不足，具备更高的准确性与工程可部署性。

本发明授权基于极坐标变换与生成对抗网络的晶圆缺陷检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于极坐标变换与生成对抗网络的晶圆缺陷检测系统，其特征在于，包括： 晶圆图像预处理模块，用于对输入的晶圆图像进行定位与标准化处理，输出预处理图像； 极坐标变换与增强模块，接收所述预处理图像，将其从笛卡尔空间变换至极坐标空间并生成增强的极坐标图像； 几何位置编码模块，用于根据所述极坐标变换与增强模块执行坐标变换时生成的径向坐标与角向坐标组成的极坐标参数，生成每个像素位置对应的径向与角向几何位置编码； 图像重建模块，采用编码器-解码器网络实现，用于接收所述增强的极坐标图像，并融合所述几何位置编码，重建出对应的笛卡尔空间重建图像与极坐标空间重建图像； 双空间判别与约束模块，包括分别作用于笛卡尔空间与极坐标空间的判别器，用于为所述图像重建模块提供对抗性约束； 损失计算模块，基于所述预处理图像、所述增强的极坐标图像、所述笛卡尔空间重建图像与极坐标空间重建图像，计算总损失，其中，所述编码器-解码器网络根据所述总损失进行反向传播，并优化所述编码器-解码器网络的网络参数，计算总损失的步骤包括： 基于所述预处理图像与所述笛卡尔空间重建图像，计算第一像素重建损失；基于所述增强的极坐标图像与所述极坐标空间重建图像，计算第二像素重建损失；计算结构几何一致性损失；基于所述双空间判别与约束模块中两个判别器的输出，分别计算笛卡尔空间对抗损失与极坐标空间对抗损失；将所述第一像素重建损失、第二像素重建损失、结构几何一致性损失、笛卡尔空间对抗损失与极坐标空间对抗损失进行加权求和，得到所述总损失； 缺陷分析模块，用于基于所述预处理图像与所述笛卡尔空间重建图像，生成笛卡尔空间重建误差图；基于所述增强的极坐标图像与所述极坐标空间重建图像，生成极坐标空间重建误差图；对所述双空间重建误差图进行多尺度融合处理，计算得到每个像素位置的缺陷显著值；根据所述缺陷显著值进行分割，输出缺陷区域信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东北大学，其通讯地址为：110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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