中国科学技术大学王洪波获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种基于气隙电场调制的柔性电容传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121475286B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610019402.9,技术领域涉及:G01D5/24;该发明授权一种基于气隙电场调制的柔性电容传感器是由王洪波;彭玉连;李泽龙;李茜设计研发完成,并于2026-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于气隙电场调制的柔性电容传感器在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于气隙电场调制的柔性电容传感器,属于电容传感器设计领域,由柔性叉指电极薄膜和封装在弹性体中的高介电常数脆性薄膜粘接而成。其中,叉指电极薄膜为在柔性基底上的叉指状导电电极,高介电常数脆性薄膜为经预处理后带有随机裂纹的高介电常数无机陶瓷薄膜。当传感器正向或反向弯曲,裂纹高介电常数碎片之间的气隙发生可逆的扩展或闭合,引起介电层内部电场分布和等效介电常数的变化,进而引起电容值变化。测量电容变化可精确表征被测物体的弯曲曲率及方向。本发明结构简单,具有极高的灵敏度、鲁棒性和稳定性,可直接贴附软体机器人、可穿戴设备及弯曲结构表面,用于曲率监测、姿态感知与人机交互等场景,应用前景广阔。
本发明授权一种基于气隙电场调制的柔性电容传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于气隙电场调制的柔性电容传感器,其特征在于:由多层薄膜粘接组成,所述多层薄膜包括叉指电极、高介电常数脆性薄膜,所述叉指电极包括导电的叉指电极结构;所述高介电常数脆性薄膜为经过预处理后带有裂纹的无机陶瓷薄膜;所述叉指电极与高介电常数脆性薄膜通过旋涂形成的粘接层粘接结合;高介电常数脆性薄膜的裂纹碎片之间存在空气间隙,柔性电容传感器随着被测物体弯曲而发生应变后,空气间隙的变化被放大或缩小,从而引起高介电常数脆性薄膜整体的介电常数的增加或减小,叉指电极所测得的电容值随之变化,所测得的电容值是叉指电极与高介电常数脆性薄膜及其空气间隙构成的等效介质层间的耦合电容,其数值取决于裂纹间的空气间隙比例变化所导致的有效介电常数变化。
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