安徽中科光栅科技有限公司陈智文获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽中科光栅科技有限公司申请的专利基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121477383B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610018385.7，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法是由陈智文;王宇;蔡茂琦;陈火耀;刘斌;杨高元设计研发完成，并于2026-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及无缝拼接光栅，具体涉及基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法，将动态直边光阑的边缘对齐基板一侧拼缝位置标记，使动态直边光阑沿垂直于拼缝的方向进行简谐运动，实现动态扫描，并完成第一次干涉曝光；将动态直边光阑的边缘对齐基板另一侧拼缝位置标记，并利用第一次曝光预留的光栅潜像进行条纹锁定，使动态直边光阑沿垂直于拼缝的方向进行简谐运动，实现动态扫描，并完成第二次干涉曝光；对曝光后的基板进行统一显影，获得无拼缝的光刻胶光栅掩膜，并将掩膜上的光栅结构转移至介质基底；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的由于拼缝调制导致的抗激光损伤能力较差、加工难度大的缺陷。
本发明授权基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法在权利要求书中公布了：1.基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法，其特征在于：包括以下步骤： S1、在基板表面涂覆光刻胶，并对基板上的预设拼缝位置进行标记； S2、将动态直边光阑的边缘对齐基板一侧拼缝位置标记，使动态直边光阑沿垂直于拼缝的方向进行简谐运动，实现动态扫描，并完成第一次干涉曝光； S3、将动态直边光阑的边缘对齐基板另一侧拼缝位置标记，并利用第一次曝光预留的光栅潜像进行条纹锁定，使动态直边光阑沿垂直于拼缝的方向进行简谐运动，实现动态扫描，并完成第二次干涉曝光； S4、对曝光后的基板进行统一显影，获得无拼缝的光刻胶光栅掩膜； S5、确认掩膜质量后，将掩膜上的光栅结构转移至介质基底，完成无缝拼接光栅的制备。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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