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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利半导体设备前馈与反馈协同控制方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121478032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610033646.2，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权半导体设备前馈与反馈协同控制方法、系统、设备及介质是由王开兵;李家强;张贤群设计研发完成，并于2026-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体设备前馈与反馈协同控制方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体设备前馈与反馈协同控制方法、系统、设备及介质，方法包括：设置采样周期，在每一采样周期内从半导体设备控制系统中获取采样数据，基于采样数据计算温度误差及扰动强度指标并判断当前的温控运行阶段；根据前馈权重及反馈权重，对前馈控制量及反馈控制量进行加权求和，得到综合控制信号，并采用自适应权重修正策略对前馈权重进行微调，同步更新反馈权重及综合控制信号；依据温控运行阶段及触发条件实例化温控任务，生成温控任务队列，结合扰动强度指标及执行响应延迟为每一温控任务分配优先级权重，并将多类型温控任务映射至对应的执行单元，结合综合控制信号驱动每一执行单元在不同温控运行阶段的动态调度与执行。

本发明授权半导体设备前馈与反馈协同控制方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备前馈与反馈协同控制方法，其特征在于，包括： 温控运行阶段识别，设置采样周期，在每一采样周期内，从半导体设备控制系统中获取采样数据，基于所述采样数据计算温度误差及扰动强度指标，并结合预设的误差阈值判断当前的温控运行阶段，所述温控运行阶段包括扰动主导阶段、稳态控制阶段及过渡阶段； 综合控制信号融合计算，根据前馈权重及反馈权重对前馈控制量及反馈控制量进行加权求和，得到综合控制信号，并在温度响应出现超调、欠调或响应滞后时，采用自适应权重修正策略对所述前馈权重进行微调，并同步更新所述反馈权重及综合控制信号； 任务调度协同机制，依据所述温控运行阶段及触发条件从温控任务模板库中选取对应的任务模板实例化温控任务，生成当前采样周期的温控任务队列，结合所述扰动强度指标及执行响应延迟为每一温控任务分配优先级权重，并将包括加热功率调整任务、执行延迟补偿任务、温度偏差微调任务及补偿抑制任务的多类型温控任务映射至对应的执行单元，结合所述综合控制信号驱动每一所述执行单元在不同温控运行阶段的动态调度与执行。

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