浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司;蔚柏精密技术(东莞)有限公司刘力获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司;蔚柏精密技术(东莞)有限公司申请的专利一种晶圆承载隔膜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223998140U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520745355.7，技术领域涉及：B24B37/27；该实用新型一种晶圆承载隔膜是由刘力;肖刚;杨鹏飞;曾进平;廖振涛;谷雨;宋顾健设计研发完成，并于2025-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆承载隔膜在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆承载隔膜，包括：圆盘部、环状部和圆形凸起；所述圆盘部与晶圆接触，用于对晶圆进行夹持或施加压力；所述环状部设置在圆盘部上，并用于将所述晶圆承载隔膜分成多个压力区域；所述圆形凸起设置在至少一个压力区域内的圆盘部，用于调节同一压力区域内部压力。该晶圆承载隔膜在至少一个压力区域内的圆盘部设置圆形凸起，圆形凸起用于调节同一压力区域内部压力，使得同一压力区域内的压力更加均匀，同时能够隔离圆盘部和气孔板，避免圆盘部与气孔板粘连从而降低晶圆承载隔膜变形风险，提高了晶圆研磨的平整度。
本实用新型一种晶圆承载隔膜在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载隔膜，其特征在于，包括：圆盘部1、环状部2和圆形凸起3；所述圆盘部1与晶圆4接触，用于对晶圆4进行夹持或施加压力；所述环状部2设置在圆盘部1上，并用于将所述晶圆承载隔膜分成多个压力区域5；所述圆形凸起3设置在至少一个压力区域5内的圆盘部1，用于调节同一压力区域5内部压力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司;蔚柏精密技术(东莞)有限公司，其通讯地址为：312300 浙江省绍兴市上虞区杭州湾经济技术开发区康阳大道26号第七号厂房北侧(住所申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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