广东森丰薄膜科技股份有限公司陆作军获国家专利权
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龙图腾网获悉广东森丰薄膜科技股份有限公司申请的专利一种方便拆装的镀膜靶机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224001487U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520732460.7,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种方便拆装的镀膜靶机构是由陆作军;汪达文设计研发完成,并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种方便拆装的镀膜靶机构在说明书摘要公布了:本申请属于真空镀膜领域,特别涉及到了一种方便拆装的镀膜靶机构,包括:固定主体;镀膜靶架,所述镀膜靶架两端分别设置有第一拆装件和第二拆装件,所述第一拆装件和第二拆装件之间形成有拆装位;镀膜靶组件,所述镀膜靶组件包括有镀膜靶、第一靶头、第二靶头,所述镀膜靶两端分别与第一靶头和第二靶头可旋转式连接,所述第一靶头和第二靶头分别可拆卸式设置在第一拆装件和第二拆装件上,以使所述镀膜靶可拆卸式安装于所述拆装位内。在本实用新型中,可显著缩短维护和更换时间;且在拆卸和安装时,减少设备停机时间,提高生产效率。
本实用新型一种方便拆装的镀膜靶机构在权利要求书中公布了:1.一种方便拆装的镀膜靶机构,其特征在于,包括: 固定主体; 镀膜靶架,所述镀膜靶架两端分别设置有第一拆装件和第二拆装件,所述第一拆装件和第二拆装件之间形成有拆装位; 镀膜靶组件,所述镀膜靶组件包括有镀膜靶、第一靶头、第二靶头,所述镀膜靶两端分别与第一靶头和第二靶头可旋转式连接,所述第一靶头和第二靶头分别可拆卸式设置在第一拆装件和第二拆装件上,以使所述镀膜靶可拆卸式安装于所述拆装位内。
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