理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司梁辰获国家专利权
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龙图腾网获悉理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司申请的专利一种防着板固定结构及真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224001496U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520542613.1,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型一种防着板固定结构及真空镀膜设备是由梁辰;刘寅设计研发完成,并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防着板固定结构及真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请涉及真空镀膜领域,提供一种防着板固定结构及真空镀膜设备,防着板固定结构包括防着板、定位部件和紧固件,防着板上设有若干第一通孔;定位部件一端固定安装于镀膜腔体内侧壁,另一端适于贯穿防着板的第一通孔,定位部件超出防着板的部分上还设有紧固孔;紧固件插入紧固孔内并将防着板抵接安装于定位部件。真空镀膜设备包括防着板固定结构。本申请防着板的第一通孔对准定位部件后,将紧固件插入定位部件的紧固孔,即将防着板固定于定位部件上;后期防着板清洁时,只需拆下紧固件即可,此时定位部件不需要重复拆装,也可以有效防止镀膜腔体内螺纹孔和定位部件的频繁拆装,避免对镀膜腔体内壁螺纹孔造成损伤以及滑丝等不可修复的问题出现。
本实用新型一种防着板固定结构及真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种防着板固定结构,其特征在于,包括: 防着板,所述防着板上设有若干第一通孔; 定位部件,所述定位部件一端适于固定安装于镀膜腔体内侧壁,所述定位部件另一端适于贯穿所述防着板的所述第一通孔,所述定位部件超出所述防着板的部分上还设有紧固孔; 紧固件,所述紧固件适于插入所述紧固孔内并将所述防着板抵接安装于所述定位部件。
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