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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司王晨获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利水源瓶装置及原子沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224001499U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520485621.7,技术领域涉及:C23C16/448;该实用新型水源瓶装置及原子沉积设备是由王晨;李致文;陈淳才;胡志祥;蒋能明;利善煜;向阳设计研发完成,并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。

水源瓶装置及原子沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种水源瓶装置及原子沉积设备,水源瓶装置在水瓶上设有进气管道、出气管道以及补液管道,通过在出气管道与水瓶连接处设置限流垫片,且限流垫片限流孔的口径小于出气管道的口径,使其限流垫片缩小水瓶内的水蒸气进入出气管道的口径。通过降低单位时间内进入出气管道内的水蒸气含量,可使单位时间内参与反应的水蒸气分子含量减少,相较于现有技术方案可使其工艺过程中绕镀占比降低。

本实用新型水源瓶装置及原子沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种水源瓶装置,包括:用于传输气体的水瓶以及设置在水瓶上连接至反应腔体的出气管道,其特征在于,所述出气管道上设有限流件,用于限制水瓶内水蒸气的流出量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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