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龙图腾网获悉无锡芯汉电子科技有限公司申请的专利用于化学气相沉积设备的可喷出混合均匀气体的喷淋头组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224001501U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520557964.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型用于化学气相沉积设备的可喷出混合均匀气体的喷淋头组件是由唐建成设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于化学气相沉积设备的可喷出混合均匀气体的喷淋头组件在说明书摘要公布了：本实用新型提供了用于化学气相沉积设备的可喷出混合均匀气体的喷淋头组件，涉及气相沉积设备领域，包括顶部盖板、底部盖板、电极板及出气板；底部盖板固定于顶部盖板正下方；电极板固定于底部盖板下方；顶部盖板设有多个第一气孔；底部盖板开有第二气孔，第一气道下端伸入其中；电极板上设有反应孔；顶部盖板上侧的第一气源连通第一气道，第二气道连通第二气源；出气板固定于电极板下方，其上开有出气孔，出气板、电极板与底部盖板围绕形成多个混合腔，每个混合腔分别连通呈扩张状的第一气道出口和若干呈收敛状的第二气道出口。本实用新型解决了现有技术中喷淋头反应孔内气体混合效果差的问题，可以提高气体混合效果。

本实用新型用于化学气相沉积设备的可喷出混合均匀气体的喷淋头组件在权利要求书中公布了：1.一种用于化学气相沉积设备的可喷出混合均匀气体的喷淋头组件，设置于化学气相沉积设备的圆形穹顶内，其特征在于， 包括顶部盖板、底部盖板、电极板以及出气板； 所述顶部盖板和所述底部盖板的板面呈水平设置，且均固定于所述圆形穹顶上； 所述底部盖板位于顶部盖板的正下方； 电极板的板面水平设置，且固定于所述底部盖板的下方； 所述顶部盖板上开设有多个第一气孔；每个所述第一气孔的内圆边缘向下延伸形成第一气道； 所述底部盖板上开设有与第一气孔相对应的多个第二气孔； 所述第一气道的下端伸入至第二气孔内；所述第一气道的下端开口为所述第一气道的出口； 所述顶部盖板与所述底部盖板之间的空间构成第二气道； 所述电极板上开设有反应孔； 所述顶部盖板的上侧设置有第一气源；所述第一气源与所述第一气道相连通；所述第二气道连通有第二气源； 所述出气板固定于所述电极板的下方；所述出气板上开设有若干出气孔； 所述出气板、所述电极板与所述底部盖板共同围绕形成多个混合腔； 每个所述混合腔连通有所述第一气道的出口；每个所述混合腔连通有所述第二气道的出口； 所述第一气道的出口呈扩张状； 所述第二气道的出口呈收敛状。

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