北京亦盛精密半导体有限公司裴路凯获国家专利权
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龙图腾网获悉北京亦盛精密半导体有限公司申请的专利一种用于化学气相沉积炉工装的制件校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224001505U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520672259.4，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种用于化学气相沉积炉工装的制件校准装置是由裴路凯;张慧;李靖晗;金昌民;俞程奕设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学气相沉积炉工装的制件校准装置在说明书摘要公布了：一种用于化学气相沉积炉工装的制件校准装置，包括位于制件下方的支撑架，支撑架包括定位座、支撑臂和定位头，支撑臂倾斜设置并通过插接槽与定位座连接，支撑臂上设有第一校准工装件，第一校准工装件底部设置有卡位块并通过卡位槽与支撑臂卡合，实现与制件内环的贴合定位；定位头顶部连接有支撑片，支撑片截面为三角形，用于减小与制件的接触面积，定位头末端设置有定位柱，定位柱插入第二校准工装件内侧的定位槽，第二校准工装件底部固定有定位块，并与制件外环贴合，通过第一校准工装件与第二校准工装件的协同作用，使制件的圆心与支撑架的轴心保持一致，实现制件在沉积过程中的精确校准与稳定支撑。
本实用新型一种用于化学气相沉积炉工装的制件校准装置在权利要求书中公布了：1.一种用于化学气相沉积炉工装的制件校准装置，其特征在于：包括位于制件下方的支撑架1，支撑架1用于给沉积过程中的制件提供支撑；所述支撑架1包括定位座11，定位座11的外侧围绕着其中轴线等间距设置有支撑臂12，支撑臂12的一端固定连接有定位头13，定位头13位于制件的下方； 所述支撑臂12上卡合有第一校准工装件2，第一校准工装件2与制件的内环相贴合； 所述定位头13的一端插接有第二校准工装件3，第二校准工装件3与制件的外侧面相贴合。
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