江苏天芯微半导体设备有限公司朱佳欢获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种气体注入组件及外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224001560U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520584064.4，技术领域涉及：C30B25/14；该实用新型一种气体注入组件及外延设备是由朱佳欢设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体注入组件及外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种气体注入组件，包括沿进气方向依次设置的进气嘴、匀流板和气体注入插件；匀流板，设有面向进气嘴的第一表面和面向气体注入插件的第二表面；匀流板的第一表面设有用于连接进气嘴的第一凸台，所述第一凸台设有面向进气嘴的第一凸台表面；匀流板的第二表面设有用于连接气体注入插件的第二凸台，第二凸台设有面向气体注入插件的第二凸台表面；所述第一凸台分别设置在匀流板第一表面的两个端部；第二凸台分别设置在匀流板第二表面的两个端部；匀流板设有连通第一表面和第二表面的第一匀流孔；匀流板还设有连通第一凸台表面和第二凸台表面的第二匀流孔。本实用新型可以实现基片不同区域的均匀生长，提高了基片边缘进气的均匀性。
本实用新型一种气体注入组件及外延设备在权利要求书中公布了：1.一种气体注入组件，其特征在于，包括沿进气方向依次设置的进气嘴、匀流板和气体注入插件； 匀流板，设有面向进气嘴的第一表面和面向气体注入插件的第二表面；所述匀流板的第一表面设有用于连接进气嘴的第一凸台，所述第一凸台设有面向进气嘴的第一凸台表面；所述匀流板的第二表面设有用于连接气体注入插件的第二凸台，所述第二凸台设有面向气体注入插件的第二凸台表面；所述第一凸台分别设置在匀流板第一表面的两个端部；第二凸台分别对应设置在匀流板第二表面的两个端部； 所述匀流板设有连通第一表面和第二表面的第一匀流孔，所述匀流板还设有连通第一凸台表面和第二凸台表面的至少两个第二匀流孔；第一气体流经第一匀流孔，第二气体流经第二匀流孔，所述第一气体和第二气体独立控制。
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