青岛华芯晶元半导体科技有限公司张文豪获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华芯晶元半导体科技有限公司申请的专利一种用于磷化铟晶体生长的直拉装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224001562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520384477.8,技术领域涉及:C30B29/40;该实用新型一种用于磷化铟晶体生长的直拉装置是由张文豪;刘建;邓小曼设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于磷化铟晶体生长的直拉装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于磷化铟晶体生长的直拉装置,属于晶体生长技术领域,一种用于磷化铟晶体生长的直拉装置,包括炉体、安装在所述炉体顶端升降板上的驱动电机,安装在所述驱动电机动力输出端上并位于所述炉体内侧的夹具,通过所述夹具夹持的籽晶杆以及安装在所述炉体内侧的坩埚,所述炉体的炉颈内壁固定连接有呈环形设置的调节板,所述调节板的表面开设有螺旋孔槽,所述调节板的上方安装有呈环形结构设置的转盘,所述转盘的内缘开设有装配槽,它可有效的降低籽晶杆在转动过程中的摆动幅度,进而保证晶体生长的质量。
本实用新型一种用于磷化铟晶体生长的直拉装置在权利要求书中公布了:1.一种用于磷化铟晶体生长的直拉装置,包括炉体1、安装在所述炉体1顶端升降板上的驱动电机2,安装在所述驱动电机2动力输出端上并位于所述炉体1内侧的夹具3,通过所述夹具3夹持的籽晶杆4以及安装在所述炉体1内侧的坩埚5,其特征在于:所述炉体1的炉颈内壁固定连接有呈环形设置的调节板6,所述调节板6的表面开设有螺旋孔槽7; 所述调节板6的上方安装有呈环形结构设置的转盘8,所述转盘8的内缘开设有装配槽9,且所述装配槽9在所述转盘8的径向方位设置有多个,所述装配槽9的侧壁对称开设有滑槽10,所述装配槽9的底壁开设有贯穿所述转盘8的条形孔11; 所述转盘8的上表面外缘部位固定连接有齿圈12,所述驱动电机2的一侧安装有伺服电机13,所述伺服电机13的动力输出端传动连接有延伸至所述炉体1内侧的传动轴14,所述传动轴14的底端安装有与所述齿圈12相啮合的齿轮15; 所述装配槽9的内侧安装有夹块17,所述夹块17的侧壁一体成型有与所述滑槽10滑移连接的导向块18,所述夹块17的底部安装有贯穿所述条形孔11并延伸至所述螺旋孔槽7内侧的导柱19,所述夹块17的端部转动连接有与所述籽晶杆4外壁相抵接的不锈钢滚轮20。
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