无锡釜川科技股份有限公司王学卫获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡釜川科技股份有限公司申请的专利一种硅片真空烘干的槽体装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224004080U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520209389.4，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型一种硅片真空烘干的槽体装置是由王学卫;李德威设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片真空烘干的槽体装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于硅片烘干技术领域，具体涉及一种硅片真空烘干的槽体装置，其中包括：烘干槽和真空泵，烘干槽密封设置，烘干槽内设置有用于放置硅片的支架，烘干槽内设置有用于烘干硅片的加热元件；真空泵通过真空管路与烘干槽相连接，并用于对烘干槽抽真空。本实用新型通过将待烘干的硅片精准放置于烘干槽内部，随后利用真空泵技术，将烘干槽内的空气抽出，营造出一个稳定的真空环境，在此基础上，配合高效加热元件对硅片进行均匀加热，从而达成预期的烘干效果，整个烘干流程均在负压环境下稳步进行，这一设计不仅显著降低了水的沸点温度，进一步提升了加热效率，而且成功规避了传统热风机所带来的安装繁琐及维护不便等难题。
本实用新型一种硅片真空烘干的槽体装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片真空烘干的槽体装置，其特征在于，包括： 烘干槽1，所述烘干槽1密封设置，所述烘干槽1内设置有用于放置硅片的支架101，所述烘干槽1内设置有用于烘干硅片的加热元件； 真空泵2，所述真空泵2通过真空管路201与所述烘干槽1相连接，并用于对所述烘干槽1抽真空； 过滤器3，所述过滤器3与所述真空泵2相连接； 电动蝶阀4和电动球阀5，所述电动蝶阀4和所述电动球阀5设置于所述真空管路201上； 热电偶6，所述热电偶6设置于所述烘干槽1上； 所述真空管路201包括第一分支管路202和第二分支管路203，所述真空泵2、所述过滤器3及所述烘干槽1依次设置，所述过滤器3与所述真空泵2通过所述第一分支管路202相连接，所述过滤器3与所述烘干槽1通过所述第二分支管路203相连接，所述电动蝶阀4和所述电动球阀5设置于所述第二分支管路203上。
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