杭州微影智控科技有限公司崔亚春获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州微影智控科技有限公司申请的专利一种压力传感模组及压力传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224004556U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520841881.3,技术领域涉及:G01L1/22;该实用新型一种压力传感模组及压力传感器是由崔亚春;李永成;丁金玲;刘建华设计研发完成,并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压力传感模组及压力传感器在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种压力传感模组及压力传感器,涉及微电子机械技术领域,该压力传感模组通过改进工艺来进一步提高压力传感器的精度。压力传感模组包括:包括相对设置的第一基板和第二基板,第一基板和第二基板之间形成空腔;第一基板远离第二基板的一侧设有压敏电阻和岛梁结构,压敏电阻设置在岛梁结构远离第二基板的一侧,压敏电阻为金属膜电阻;岛梁结构沿预设方向延伸,压敏电阻设置在岛梁结构在自身延伸方向上的端部。
本实用新型一种压力传感模组及压力传感器在权利要求书中公布了:1.一种压力传感模组,其特征在于,包括相对设置的第一基板和第二基板,所述第一基板和所述第二基板之间形成空腔; 所述第一基板远离所述第二基板的一侧设有压敏电阻和岛梁结构,所述压敏电阻设置在所述岛梁结构远离所述第二基板的一侧,所述压敏电阻为金属膜电阻; 所述岛梁结构沿预设方向延伸,所述压敏电阻设置在所述岛梁结构在自身延伸方向上的端部。
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