杭州华芯光电有限公司陈霞波获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州华芯光电有限公司申请的专利基于氮化硅多锥形波导的O波段端面耦合器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224005301U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520770089.3,技术领域涉及:G02B6/122;该实用新型基于氮化硅多锥形波导的O波段端面耦合器是由陈霞波;沈逸云;黄国华设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于氮化硅多锥形波导的O波段端面耦合器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了基于氮化硅多锥形波导的O波段端面耦合器,其特征在于:所述的波导层由三个双锥形输入波导、两个双锥形波导、单锥型波导以及与单锥型波导连接的直波导组成合成;本实用新型通过双锥形输入波导、双锥形波导和单锥型波导的多锥形结构的引入,有效降低了波导与光纤间模式失配,从而减少因模式适配带来的损耗,实现光纤与芯片间的高效光耦合,且波导间结构紧凑;只需单次曝光与刻蚀,降低了工艺复杂性,在O波段耦合损耗低,带宽大。
本实用新型基于氮化硅多锥形波导的O波段端面耦合器在权利要求书中公布了:1.基于氮化硅多锥形波导的O波段端面耦合器,从上之下包括上包层1、波导层2、下包层3和衬底层4,其特征在于:所述的波导层2由三个双锥形输入波导5、两个双锥形波导6、单锥型波导7以及与单锥型波导7连接的直波导8组成合成;所述的波导层2呈轴向对称,且双锥型输入波导5的中间波导、单锥型波导7和直波导8在同一轴线上,光信号经双锥形输入波导5耦合至双锥形波导6,双锥形波导6耦合至单锥型波导7,各波导通过多锥形渐变结构实现模场匹配,并最终进入直波导8后以TE0模式形式输出。
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