硅密(常州)电子设备有限公司卡尔·罗伯特·休斯特获国家专利权
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龙图腾网获悉硅密(常州)电子设备有限公司申请的专利一种可实现均匀风速的气流装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224007054U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423319308.0,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种可实现均匀风速的气流装置是由卡尔·罗伯特·休斯特;刘青设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可实现均匀风速的气流装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种可实现均匀风速的气流装置,其特征在于,包括盒体和进气管,进气管置于盒体内,进气管一端贯穿盒体一侧,进气管另一端贯穿盒体另一侧;所述进气管两端均为进气口,进气管上均布有若干气孔,气孔位于同一条母线上;所述盒体底面上均布有若干出气口;通过更改气流的风道使其能均匀的分布在槽内及晶圆片上;更改内部风道,降低气流阻力系数;提高气流的均匀性和稳定性。
本实用新型一种可实现均匀风速的气流装置在权利要求书中公布了:1.一种可实现均匀风速的气流装置,其特征在于,包括盒体和进气管,进气管置于盒体内,进气管一端贯穿盒体一侧,进气管另一端贯穿盒体另一侧;所述进气管两端均为进气口,进气管上均布有若干气孔,气孔位于同一条母线上;所述盒体底面上均布有若干出气口。
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