美光科技公司韦磊获国家专利权
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龙图腾网获悉美光科技公司申请的专利具有经优化电阻层的存储器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114068614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110863427.4,技术领域涉及:H10B63/00;该发明授权具有经优化电阻层的存储器是由韦磊;郑鹏园;凯文·李·拜克;E·S·埃格;A·T·巴顿;R·维尼加拉设计研发完成,并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有经优化电阻层的存储器在说明书摘要公布了:本申请涉及一种具有经优化电阻层的存储器。存储器系统可包含可使用存取线中的单独电阻层沉积在存储器单元和导电通孔上方的单独量或类型的电阻材料。可在执行用于沉积所述导电通孔的阵列终止蚀刻之前在所述存储器单元上方沉积第一电阻材料层。所述阵列终止蚀刻可去除在用于沉积所述导电通孔的阵列的部分上方的所述第一电阻材料。可在所述蚀刻已发生且所述导电通孔已被形成之后沉积第二电阻材料层。可在所述导电通孔上方沉积所述第二电阻材料层。
本发明授权具有经优化电阻层的存储器在权利要求书中公布了:1.一种用于制造存储器装置的方法,所述方法包括: 在多个存储器堆叠上沉积第一电阻材料,所述多个存储器堆叠中的每一个包含电极材料和存储器材料的分层组合件; 在所述多个存储器堆叠上在所述第一电阻材料上方沉积第一导电材料; 去除所述多个存储器堆叠的区域以在所述第一电阻材料、所述第一导电材料和所述多个存储器堆叠中的一或多个存储器堆叠中形成间隙; 沉积导电材料以在所述间隙中形成导电通孔; 在所述第一导电材料和所述导电通孔上方沉积第二电阻材料;以及 在所述多个存储器堆叠上在所述第二电阻材料上方沉积第二导电材料,其中所述第二导电材料与所述第二电阻材料的一部分接触,所述第二电阻材料直接在所述导电通孔上方。
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