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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114188239B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110855238.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理设备及基板处理方法是由李智暎;郑映大;郑智训;金泰信;金源根设计研发完成，并于2021-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理设备及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理设备和基板处理方法，该基板处理设备包括第一工艺腔室组，该第一工艺腔室组包括多个工艺腔室，每个工艺腔室包括将激光光束施用至基板以加热基板的激光光束发射单元；一个激光光束发生器，该一个激光光束发生器通过包括在第一工艺腔室组中的多个工艺腔室中的每个工艺腔室的激光光束发射单元产生施用至基板的激光光束；以及光束移动模块，该光束移动模块包括对应于包括在第一工艺腔室组中的多个工艺腔室的一个或多个镜。一个或多个镜中的每个镜被移动到镜形成激光光束的朝向多个工艺腔室中的预定的一个工艺腔室的光路的位置。

本发明授权基板处理设备及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，所述基板处理设备包括： 第一工艺腔室组，所述第一工艺腔室组包括多个工艺腔室，所述多个工艺腔室的每个工艺腔室包括激光光束发射单元，所述激光光束发射单元配置为将激光光束施用至基板以加热所述基板； 一个激光光束发生器，所述一个激光光束发生器配置为通过包括在所述第一工艺腔室组中的所述多个工艺腔室的每个工艺腔室的所述激光光束发射单元产生施用至所述基板的所述激光光束；和 光束移动模块，所述光束移动模块包括对应于包括在所述第一工艺腔室组中的所述多个工艺腔室的多个镜， 其中，所述多个镜中的每个镜被移动至下述位置，在所述位置处所述镜形成所述激光光束的、朝向所述多个工艺腔室的预定的一个工艺腔室的光路， 其中，所述多个镜中的每个镜在第一位置与第二位置之间移动，在所述第一位置处所述镜形成所述激光光束的朝向所述多个工艺腔室的相应一个工艺腔室的光路，在第二位置处所述镜不阻挡所述激光光束的所述光路， 当所述多个镜位于第一位置时，所述多个镜布置成一行， 其中，所述多个工艺腔室中的每个还包括： 基板支承单元，所述基板支承单元配置为支承和旋转所述基板；以及 液体分配单元，所述液体分配单元包括化学品分配喷嘴，所述化学分配喷嘴配置为将化学品分配到支承在所述基板支承单元上的所述基板上。

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