北京北方华创微电子装备有限公司王琳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆翻转机构和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496898B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210126080.X，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权晶圆翻转机构和半导体工艺设备是由王琳;宋爱军;张朝轩设计研发完成，并于2022-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆翻转机构和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆翻转机构，包括驱动模组和多对夹持架，夹持架具有晶圆接触面，且每对夹持架的两个晶圆接触面相对设置；驱动模组能够驱动每对夹持架相互靠近以夹持晶圆或相互远离以便向每对夹持架之间放入晶圆或由每对夹持架之间取出晶圆，驱动模组还能够驱动每对所述夹持架的上下位置关系对调，以使每对夹持架夹持的晶圆由一侧夹持架的晶圆接触面转移至另一侧夹持架的晶圆接触面上。在本发明中，晶圆翻转机构的驱动模组能够驱动多对夹持架夹持晶圆，并同时旋转至每对夹持架的上下位置关系对调，从而实现同时翻转多片晶圆，提高了向工艺腔室传输晶圆的传输效率，提高了半导体工艺设备的产能。本发明还提供一种半导体工艺设备。
本发明授权晶圆翻转机构和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转机构，其特征在于，所述晶圆翻转机构包括驱动模组和多对夹持架， 所述夹持架具有晶圆接触面，且每对所述夹持架的两个所述晶圆接触面相对设置； 所述驱动模组包括安装板和活动板，所述活动板与所述安装板相对设置，每对所述夹持架均包括第一夹持架和第二夹持架；多个所述第一夹持架固定设置在所述活动板上，多个所述第二夹持架固定设置在所述安装板上； 所述驱动模组能够通过驱动所述活动板带动多个所述第一夹持架靠近对应的所述第二夹持架以夹持晶圆或远离对应的所述第二夹持架以便向每对所述夹持架之间放入所述晶圆或由每对所述夹持架之间取出所述晶圆，所述驱动模组还能够驱动每对所述夹持架的上下位置关系对调，以使每对所述夹持架夹持的所述晶圆由一侧所述夹持架的所述晶圆接触面转移至另一侧所述夹持架的所述晶圆接触面上。
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