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龙图腾网获悉原子能和替代能源委员会申请的专利制造包括吸气剂材料的用于检测电磁辐射的装置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114502503B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080068129.X，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权制造包括吸气剂材料的用于检测电磁辐射的装置的方法是由若弗鲁瓦·迪蒙;塞巴斯蒂安·贝克尔设计研发完成，并于2020-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本制造包括吸气剂材料的用于检测电磁辐射的装置的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于制造检测装置的方法，该检测装置包括由矿物牺牲层14、15覆盖的至少一个热检测器20、由含碳牺牲层17覆盖的至少一个吸气剂部分13、以及包围热检测器和吸气剂部分的薄封装层31。制造方法包括产生延伸通过矿物牺牲层14、15并且通向衬底10的通孔16的步骤，以及沉积含碳牺牲层17以便覆盖位于通孔16中的吸气剂部分13并完全填充通孔16的步骤。

本发明授权制造包括吸气剂材料的用于检测电磁辐射的装置的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造用于检测电磁辐射的装置的方法，其包括以下步骤： o在衬底10上产生至少一个热检测器20，所述至少一个热检测器由至少一个矿物牺牲层14、15覆盖，所述至少一个矿物牺牲层由能够通过第一化学蚀刻去除的矿物材料制成； o产生延伸通过矿物牺牲层14、15并且通向所述衬底10的通孔16； o产生由具有吸气效应的金属材料制成的吸气剂部分13，所述吸气剂部分设置在衬底10上并与所述衬底接触，并且与平行于所述衬底10的平面中的热检测器20相距一定距离； ·所述吸气剂部分13位于通孔16中，与横向边界16.1相距一定距离，所述横向边界由矿物牺牲层14、15限定，并在平行于所述衬底10的平面中界定所述通孔16； o产生由对第一化学蚀刻是惰性的并且能够通过第二化学蚀刻去除的含碳材料制成的含碳牺牲层17， ·以便覆盖所述吸气剂部分13，并且在平行于所述衬底的平面中包围所述吸气剂部分，并且完全填充所述通孔16； o产生薄封装层31，所述薄封装层包括：顶部部分31.1和外围部分31.2；所述顶部部分位于矿物牺牲层15上和含碳牺牲层17上；所述外围部分延伸通过矿物牺牲层14、15并包围热检测器20和吸气剂部分13； o通过所述第一化学蚀刻去除矿物牺牲层14、15； o通过所述第二化学蚀刻去除含碳牺牲层17。

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