ASM IP私人控股有限公司朱驰宇获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利前体胶囊、容器和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114717541B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111549172.0，技术领域涉及：C23C16/54；该发明授权前体胶囊、容器和方法是由朱驰宇;J.安蒂拉设计研发完成，并于2021-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本前体胶囊、容器和方法在说明书摘要公布了：本公开涉及保持用于气相沉积过程的前体的前体胶囊。前体胶囊包括蒸汽可渗透的外壳，外壳配置成限定前体空间，并允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊。本公开还涉及包含根据本公开的胶囊的前体容器、气相沉积设备和方法。
本发明授权前体胶囊、容器和方法在权利要求书中公布了：1.一种保持用于气相沉积过程的前体的前体胶囊，其中， 前体胶囊包括： 配置成限定前体空间的外壳，并且其中， 外壳是蒸汽可渗透的，以允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊， 其中所述外壳包括金属。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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