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沃特洛电气制造公司米兰达·皮泽拉获国家专利权

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龙图腾网获悉沃特洛电气制造公司申请的专利用于气体递送系统的控制和监控系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114787839B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080085000.X,技术领域涉及:G06Q10/06;该发明授权用于气体递送系统的控制和监控系统是由米兰达·皮泽拉;安德鲁·塞尔维;切尔西·霍加德;克里·布兰德斯设计研发完成,并于2020-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

用于气体递送系统的控制和监控系统在说明书摘要公布了:一种用于监控半导体处理系统的方法,该半导体处理系统包括气体递送系统、热系统和流体流量管线,该方法包括从气体递送系统、热系统或其组合获得多个操作数据,并基于多个操作数据中的一个或多个操作数据确定流体流量管线的性能特性。该方法包括:标识参考虚拟模型中的与一个或多个操作数据相关联的一个或多个位置,并基于参考虚拟模型、一个或多个所标识的位置和所确定的性能特性生成流体流量管线的动态状态模型,其中动态状态模型是流体流量管线的数字表示。

本发明授权用于气体递送系统的控制和监控系统在权利要求书中公布了:1.一种用于监控半导体处理系统的方法,所述半导体处理系统包括气体递送系统、热系统和流体流量管线,所述方法包括: 从所述气体递送系统、所述热系统或其组合获得多个操作数据; 基于所述多个操作数据中的一个或多个操作数据来确定所述流体流量管线的性能特性; 标识参考虚拟模型中的与所述一个或多个操作数据相关联的一个或多个位置;以及 基于所述参考虚拟模型、所述一个或多个所标识的位置和所确定的性能特性来生成所述流体流量管线的动态状态模型,其中,所述动态状态模型是所述流体流量管线的数字表示, 其中,所述数字表示是所述流体流量管线的二维图像和三维图像之一,并且所述数字表示包括至少一个状态区域,所述至少一个状态区域图形地指示所述流体流量管线的所述性能特性。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人沃特洛电气制造公司,其通讯地址为:美国密苏里州圣路易斯拉克兰路12001;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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