北京北方华创微电子装备有限公司孙朋涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶舟及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114883229B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210325021.5，技术领域涉及：H10P72/10；该发明授权晶舟及半导体设备是由孙朋涛;贺小平设计研发完成，并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶舟及半导体设备，晶舟多个间隔设置的舟片组，每个舟片组包括两个相对且间隔设置的舟片，相邻的两个舟片组用于与射频电源的相反电极连接，且同一个舟片组中的舟片均用于与射频电源的同一电极连接，相邻的两个舟片组之间的间隔空间用于放置晶片。本发明提供的晶舟及半导体设备，能够实现单侧放电，提高激发工艺气体发生辉光放电产生等离子体的稳定性，从而能够改善镀膜效果。
本发明授权晶舟及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶舟，其特征在于，包括多个间隔设置的舟片组，每个所述舟片组包括两个相对且间隔设置的舟片，相邻的两个所述舟片组用于与射频电源的相反电极连接，且同一个所述舟片组中的所述舟片均用于与所述射频电源的同一电极连接，相邻的两个所述舟片组之间的间隔空间用于放置晶片。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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