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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆夹持装置及清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114883242B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210607600.9，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权晶圆夹持装置及清洗设备是由王海阔;杨慧毓;谢志勇;宋爱军设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆夹持装置及清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆夹持装置及清洗设备，晶圆夹持装置包括基座和多个夹持件；基座包括主体部和凸起部，凸起部的顶面凸出于主体部的顶面，主体部的顶面与凸起部的外侧壁围成避让凹槽，避让凹槽用于避让清洗设备的机械手；多个夹持件可活动的设置于主体部，多个夹持件沿凸起部的周向间隔排布，每个夹持件可相对凸起部运动，以实现在清洗工艺时对晶圆进行夹持或在取放片时对晶圆进行限位；凸起部的顶面开设有多个间隔分布的吹气孔，吹气孔可切换通入第一流量或第二流量的气体，第一流量的气体，用于多个夹持件与晶圆相分离时以托举晶圆；第二流量的气体，用于在多个夹持件夹持晶圆时以吹扫晶圆。上述方案能够解决晶圆在清洗过程中产生缺陷的问题。

本发明授权晶圆夹持装置及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持装置，所述晶圆夹持装置100应用于清洗设备，其特征在于，所述晶圆夹持装置100包括基座110和多个夹持件120； 所述基座110包括主体部111和凸起部112，所述主体部111与所述凸起部112为一体式结构件，所述主体部111沿所述凸起部112的周向环绕所述凸起部112设置，所述凸起部112的顶面凸出于所述主体部111的顶面，所述主体部111的顶面与所述凸起部112的外侧壁围成避让凹槽113，所述避让凹槽113用于避让所述清洗设备的机械手300； 所述多个夹持件120可活动的设置于所述主体部111，所述多个夹持件120沿所述凸起部112的周向间隔排布，每个所述夹持件120可相对所述凸起部112运动，以实现在清洗工艺时对晶圆600进行夹持或在取放片时对所述晶圆600进行限位； 所述凸起部112的顶面开设有多个间隔分布的吹气孔1121，所述吹气孔1121可切换通入第一流量或第二流量的气体，所述第一流量的气体，用于多个所述夹持件120与所述晶圆600相分离时以托举所述晶圆600；所述第二流量的气体，用于在所述多个夹持件120夹持所述晶圆600时以吹扫所述晶圆600。

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