株式会社岛津制作所畠堀贵秀获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社岛津制作所申请的专利缺陷检查装置及缺陷检查方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114981652B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080093243.8,技术领域涉及:G01N29/24;该发明授权缺陷检查装置及缺陷检查方法是由畠堀贵秀;田窪健二;吉田康纪设计研发完成,并于2020-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷检查装置及缺陷检查方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种缺陷检查装置及缺陷检查方法。所述缺陷检查装置构成为:通过对在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由摄像部拍摄到的至少三个摄像图像的像素值与不同于摄像图像的基准图像的像素值的差分值或差分值的绝对值进行近似,获取与摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。
本发明授权缺陷检查装置及缺陷检查方法在权利要求书中公布了:1.一种缺陷检查装置,包括: 激振部,对检查对象的测定区域激发弹性波; 照射部,对所述测定区域照射激光; 干涉部,利用激光干涉法使在所述测定区域被反射的所述激光发生干涉; 摄像部,对经干涉的所述激光进行拍摄;以及 控制部,进行所述激振部的控制以及所述摄像部对所述经干涉的激光的拍摄的控制, 所述控制部构成为:不使发生干涉的两束所述激光的相位差变化,而通过对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由所述摄像部拍摄到的至少三个摄像图像的像素值与基于所述至少三个摄像图像的平均图像而获取的基准图像的像素值的差分值或差分值的绝对值进行近似,以获取近似地表示所述摄像图像的像素值的变化量分布的近似值图像并在显示器上显示所述近似值图像。
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