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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利接口装置、晶圆装卸载装置和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115116914B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210821781.5，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权接口装置、晶圆装卸载装置和半导体工艺设备是由钱存存;高尚;黄敏涛设计研发完成，并于2022-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本接口装置、晶圆装卸载装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：一种半导体工艺设备的接口装置、包括该接口装置的晶圆装卸载装置及半导体工艺设备，接口装置用于连接半导体工艺设备的晶圆装卸载装置与晶圆传送盒，接口装置包括：主板，主板上设有用于传输晶圆的开口；壳体，设于主板的开口处，且与开口连通；面板，设于开口处，能够沿垂直于主板的方向移动；驱动机构，设于壳体内，驱动机构包括驱动装置和用于容纳驱动装置的密封结构，沿垂直于面板的移动方向，驱动装置的中心轴线偏离面板的中心轴线，驱动装置与面板传动连接，用于驱动面板进行移动以封闭或打开开口，当开口打开时，驱动装置密封于密封结构内。该接口装置能够避免对与其连接的FOUP内环境造成颗粒污染。

本发明授权接口装置、晶圆装卸载装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的接口装置，用于连接所述半导体工艺设备的晶圆装卸载装置与晶圆传送盒，其特征在于，所述接口装置包括： 主板，所述主板上设有用于传输晶圆的开口； 壳体，设于所述主板的所述开口处，且与所述开口连通； 面板，设于所述开口处，能够沿垂直于所述主板的方向移动； 驱动机构，设于所述壳体内，所述驱动机构包括驱动装置和用于容纳所述驱动装置的密封结构，沿垂直于所述面板的移动方向，所述驱动装置的中心轴线偏离所述面板的中心轴线，所述驱动装置与所述面板传动连接，用于驱动所述面板进行所述移动以封闭或打开所述开口，当所述开口打开时，所述驱动装置密封于所述密封结构内； 所述驱动装置包括气缸和传动连接于所述气缸的推杆，所述推杆与所述面板传动连接； 所述密封结构包括： 盒体，用于容纳所述气缸，所述盒体的一端为开放端； 盖板，盖设于所述盒体的所述开放端，所述盖板上设有供所述推杆通过的通孔，所述推杆与所述通孔之间设有密封件； 密封盖，所述密封盖的一侧与所述面板连接，另一侧与所述推杆连接，当所述推杆带动所述面板移动以打开所述开口时，所述密封盖密封连接于所述盖板朝向所述面板的一侧，且所述密封盖的边缘将所述通孔包围在内，从而使所述密封盖与所述盒体形成用于容纳所述驱动装置的密封空间。

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