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南京信息工程大学李元元获国家专利权

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龙图腾网获悉南京信息工程大学申请的专利一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115266609B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210992214.6,技术领域涉及:G01N21/25;该发明授权一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法是由李元元;王天杰;邱国荣;张璐;常建华设计研发完成,并于2022-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法,装置包括功率调节与测量模块、显微成像模块、应力施加模块以及信号采集模块。飞秒激光器输出的飞秒激光作为激发光,经功率调节与测量模块调节激光功率及偏振后通过二向色镜进入显微成像模块并将飞秒激光聚焦到样品上;样品安装在应力施加模块上,实现对样品应力的定量施加;样品的二次谐波信号通过反射模式由显微成像模块中的物镜镜头收集并经二向色镜进入信号采集模块;信号采集模块实现激发光的滤除并将二次谐波信号聚焦进入光谱仪狭缝,光谱仪与计算机连接,完成应力定量调控下二次谐波信号收集。本发明可原位测量不同定量应力下的功率依赖和偏振依赖的二次谐波信号。

本发明授权一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种原位应力调控二次谐波的测量装置的测量方法,所述原位应力调控二次谐波的测量装置,包括: 飞秒激光器1,提供单色飞秒激光、以及沿所述单色飞秒激光的光路上依次布置的功率调节与测量模块、二向色镜、显微成像模块、应力施加模块和信号采集模块; 飞秒激光器1输出的飞秒激光通过所述功率调节与测量模块2调节激光功率与偏振后经二向色镜3进入显微成像模块4,显微成像模块4将激光聚焦到应力施加模块5的样品上;反射的二次谐波信号经显微成像模块4收集之后依次经二向色镜3、反射镜进入信号采集模块6进行不同应力下功率依赖的二次谐波信号的采集; 所述应力施加模块5通过转接臂55固定在三维位移平台上,包括: 一维位移平台A、一维位移平台B以及通过压片安装在所述一维位移平台A、一维位移平台B之间的柔性衬底,所述样品放置在柔性衬底上; 所述功率调节与测量模块包括:第一半波片、偏振片、折叠镜和功率计,通过调节第一半波片相对偏振片的角度来进行功率的调节,通过折叠镜与功率计实现激光功率的测量; 调节一维位移平台A53与一维位移平台B54之间的距离,通过弯曲柔性衬底52对样品施加定量单轴拉伸应力;通过折叠镜23与功率计24实时监测激光功率,结合三维位移平台调整样品位置,实现应力调控下的原位功率依赖二次谐波信号采集; 所述显微成像模块包括:物镜镜头、薄膜分束镜、第一透镜、成像CCD以及照明光源,其中,通过物镜镜头进行激光的聚焦与二次谐波信号的收集,物镜镜头固定在所述三维位移平台上;通过薄膜分束镜分光经第一透镜进入成像CCD,实现激光光斑的成像与对准; 所述信号采集模块6通过滤光片61将飞秒激光器1的激发光信号滤除,通过第二透镜62将二次谐波信号聚焦于光谱仪狭缝,光谱仪与计算机连接进行二次谐波光谱的采集; 其特征在于,飞秒激光器产生的单色飞秒激光首先进入功率调节与测量模块2进行功率和偏振的调节,通过调节第一半波片21相对偏振片22的角度来进行功率的调节,通过折叠镜23将激光引入功率计来进行功率的测量,从而进行应力调控下功率依赖的二次谐波测量; 显微成像模块4通过物镜镜头44将激光聚焦于应力施加模块5中的样品51表面,物镜镜头44固定在三维位移平台上; 薄膜分束镜41将一部分光通过第一透镜42聚焦后引入成像CCD,成像CCD与计算机连接,实现激光光斑的成像与对准,配合照明光源45实现样品51的观察; 调节一维位移平台之间的距离实现对柔性衬底52的弯曲从而给样品51施加上单轴拉伸应力; 调节三维位移平台,调整样品51在空间的位置,从而实现样品与激光的对准;样品51表面反射的二次谐波信号经物镜镜头44进入二向色镜3,透过二向色镜3的二次谐波信号经反射镜7进入信号采集模块6; 信号采集模块6中的滤光片61将激发光滤除仅二次谐波信号通过,通过第二透镜62提高采集效率将二次谐波信号聚焦于光谱仪入口狭缝,光谱仪与计算机连接从而获得二次谐波的光谱; 所述折叠镜为银镜安装在折叠镜架上,通过抬起折叠镜23将光引入功率计24进行功率的测量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京信息工程大学,其通讯地址为:210032 江苏省南京市江北新区宁六路219号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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